[发明专利]一种低振动真空阀门

说明书

本发明公开了一种低振动真空阀门，涉及真空阀门领域，解决了现有真空阀门开关阀振动噪音大的问题，包括设有旋转部的阀体，阀体内设有折弯限位板，折弯限位板两侧分别设有导轨，导轨上设有限位片，限位片与导轨形成限位槽，阀体内设有通过轴承四与限位槽接触的基板，基板上设有带有配合销的竖向限位部，基板下方设有阀板支撑，阀板支撑两侧的垂直折弯延伸上分别设有轴承一、容置配合销的斜口槽；在本发明中，基板通过轴承一、轴承三、轴承四在限位片、导轨、限位槽上进行限位滚动，因此基板能平稳运行，而且轴承一在限位片上滚动、折弯限位板对阀板支撑进行限制，可实现配合销在斜口槽内滑动，从而取代弹簧，实现阀门的静音低振开关。

技术领域

本发明涉及真空阀门领域，更具体的是涉及低振动真空阀门技术领域。

背景技术

真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。目前，传统真空行业对真空阀门的需求量日益减少，新兴的新能源和半导体领域在国内具有十分广阔的真空阀门市场，同时也对真空阀门提出了更高的要求，即清洁、静音低振和运行平稳。当前在传统真空领域应用较广泛的阀门大都采用了弹簧或弹簧片置于阀芯结构来辅助其开关阀的完成，但采用弹簧或弹簧片的阀芯结构存在开阀时振动噪音较大的劣势，因而不符合半导体等高端市场的应用要求。

因此，为了符合半导体等高端市场的应用要求，我们迫切需要一种静音低振的真空阀门。

发明内容

本发明的目的在于：为了解决现有真空阀门开关阀振动噪音大的技术问题，本发明提供一种低振动真空阀门。

本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种低振动真空阀门，包括设有旋转部的阀体，阀体内设有折弯限位板，折弯限位板两侧分别设有导轨，导轨上设有限位片，限位片与导轨形成限位槽，阀体内设有通过轴承四与限位槽接触的基板，基板上设有带有配合销的竖向限位部，基板下方设有阀板支撑，阀板支撑两侧的垂直折弯延伸上分别设有轴承一、容置配合销的斜口槽，基板上设有与旋转部滑动配合的条形孔，基板两侧分别设有与导轨接触的轴承三。

基板下表面的四角处分别设有轴承四。

竖向限位部包括设在基板上的安装孔，安装孔两侧分别设有固定块，固定块沿自身竖向中心线依次向外扩散设有配合销、轴承二。

导轨远离折弯限位板的一端设有尾端固定部。

尾端固定部上设有开口，开口内嵌设有导轨。

基板上设有方形孔，方形孔内容置有设在阀板支撑上的压块。

阀板支撑包括支撑板，支撑板两侧的垂直折弯延伸上分别设有容置在安装孔内的轴承一、容置配合销的斜口槽，支撑板上设有圆孔，圆孔内设有密封板，密封板与圆孔之间设有密封圈。

旋转部包括固定壳、驱动源，固定壳内穿设有与驱动源连接的齿条，齿条上啮合有齿轮，齿轮内设有固定轴，固定轴的延伸端设有摆臂，摆臂的延伸端设有与条形孔孔壁接触的驱动轴承。

固定壳包括壳体，壳体内设有固定板，固定板上设有支撑轴承，支撑轴承内设有固定轴。

本发明的有益效果如下：

1、在本发明中，基板通过轴承一、轴承三、轴承四在限位片、导轨、限位槽上进行限位滚动，因此基板能平稳运行，而且轴承一在限位片上滚动、折弯限位板对阀板支撑进行限制，可实现配合销在斜口槽内滑动，从而取代弹簧，实现阀门的静音低振开关。

2、在本发明中，基板可在驱动力作用下滑动，配合销可在斜口槽内滑动，当基板带动阀板支撑前伸，直至阀板支撑与折弯限位板接触，此时配合销会在斜口槽内滑动，将阀板支撑带动密封板向密封面挤压，实现关阀。