[发明专利]一种坩埚及埚帮冷却组件

说明书

本发明提供一种坩埚及埚帮冷却组件，包括埚帮，埚帮的内侧开设有浅槽，浅槽的内部填充树脂为硅烷树脂层，埚帮的底部涂有耐磨层，耐磨层的边侧设置有高温隔热层，埚帮的顶部两侧帮壁倾斜设置为筒状，浅槽之间对称设置，埚帮的内部套设有坩埚，坩埚的外侧涂有石墨粉层，埚帮的软化温度大于坩埚的软化温度，本发明通过埚帮上的高温隔热层便于对坩埚在高温加工下进行隔热处理，起到一定防止坩埚发生膨胀的效果，避免坩埚膨胀无法从埚帮的内部脱离，且拆装坩埚后需要冷却一段时间，同时通过设置的高温隔热层降低石墨埚帮裂比例增加成本上升情况，保证埚帮的使用寿命，避免发生开裂，同时降低损坏的成本。

技术领域

本发明属于坩埚技术领域，具体涉及一种坩埚及埚帮冷却组件。

背景技术

目前，随着经济的发展，光伏发电作为绿色能源中的一种，日益受到重视，并得到了发展，单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场。目前，在制备单晶硅片时，需要使用碳埚帮作为支撑装有硅料的石英坩埚的载体，从而进行拉晶工作。故碳碳埚帮作为支撑载体成为制备单晶硅必不可少的部件。

其中申请号为“CN202121785718.8”所公开的“一种坩埚组合”也是日益成熟的技术，其“包括埚托；埚帮，设置于所述埚托上，所述埚帮具有自所述埚托向远离所述埚托方向逐渐增大的坩埚安装腔；坩埚，设置于所述坩埚安装腔内，所述坩埚的外侧面为自所述埚托向远离所述埚托方向逐渐增大的外侧面，所述外侧面和所述坩埚安装腔的内侧面相对设置，且所述埚帮的软化温度大于所述坩埚的软化温度”，但是该种坩埚在实际使用过程中，还存在以下缺陷：

1)石墨埚帮冷却时间延长热场温度不能够及时散热导致装炉工序产生异常，无法进行埚帮和坩埚之间的脱离造成开裂损坏。

2)降低石墨埚帮使用寿命降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种坩埚及埚帮冷却组件，旨在解决现有技术中现有石墨埚帮冷却时间延长热场温度不能够及时散热导致装炉工序产生异常，无法进行埚帮和坩埚之间的脱离造成开裂损坏和降低石墨埚帮使用寿命降低的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种坩埚及埚帮冷却组件，包括埚帮，所述埚帮的内侧开设有浅槽，所述浅槽的内部填充树脂为硅烷树脂层，所述埚帮的底部涂有耐磨层，所述耐磨层的边侧设置有高温隔热层，所述埚帮的顶部两侧帮壁倾斜设置为筒状，所述浅槽之间对称设置。

为了使得方便对坩埚拿取，作为本发明一种优选的，所述埚帮的内部套设有坩埚，所述坩埚的外侧涂有石墨粉层，所述埚帮的软化温度大于所述坩埚的软化温度。

为了使得便于对高温石墨埚帮进行冷却降低热场温度避免发生异常工时，作为本发明一种优选的，所述埚帮的底部开设有开槽，所述开槽内部滑动连接有支撑块，所述支撑块的两侧卡合块，所述支撑块底部位于中部开设有若干个第一散热槽，所述坩埚的底部底面与埚帮的内部表面接触配合，所述埚帮的底端两侧开设有若干个第二散热槽。

为了使得能够顺利脱离避免粘连，作为本发明一种优选的，所述埚帮底部和坩埚底部呈弧形，且密封封闭贴合，且所述埚帮内部底端顶面支撑于埚帮底端的顶面。

为了使得避免发生挤压裂开，作为本发明一种优选的，所述坩埚外侧与埚帮的内侧之间间隙，所述坩埚外侧面与埚帮的内侧面的间隙为D，且0mm＜D≤2.5mm。

为了使得便于对坩埚进行拿取，作为本发明一种优选的，所述坩埚和埚帮的底端为倒锥台形腔，所述倒锥台的母线与其中心线的夹角为α，且0°≤α≤3°，所述坩埚的埚壁顶部高于埚帮帮壁的顶部。

为了使得防止热胀冷缩后开裂，作为本发明一种优选的，所述坩埚的壁厚为7mm～25mm，所述埚帮的壁厚为8mm～30mm。

为了使得避免发生在高温过后开裂，作为本发明一种优选的，所述埚帮为碳埚帮或石墨埚帮；所述坩埚为石英坩埚或碳化硅坩埚。