[发明专利]一种石墨烯薄膜的转移方法在审
| 申请号： | 202210767015.5 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115161775A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王炜;沈大勇;谭化兵;瞿研;郭冰 | 申请（专利权）人： | 常州第六元素半导体有限公司;江苏江南烯元石墨烯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳 |
| 地址： | 213100 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 薄膜 转移 方法 | ||
1.一种石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
将转移介质贴附于生长在生长衬底上的石墨烯薄膜远离生长衬底一侧的表面上；
剥离生长衬底；
将石墨烯薄膜远离转移介质的一侧表面贴附于目标衬底上形成转移介质、石墨烯薄膜和目标衬底依次堆叠的结构；
将依次堆叠的转移介质、石墨烯薄膜和目标衬底置于容器中，在一定的温度和环境压强下向所述转移介质施加压力；
从容器中取出依次堆叠的转移介质、石墨烯薄膜和目标衬底，剥离所述转移介质；
其中，所述转移介质为非晶态物质。
2.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述非晶态物质的热变形温度不低于30℃，同时不高于200℃；优选所述热变形温度为40℃～120℃。
3.根据权利要求1或2所述的转移方法，其特征在于，所述非晶态物质包括天然树脂，聚甲基丙烯酸甲酯，聚苯乙烯和聚氯乙烯树脂中的一种或几种；所述天然树脂包括石蜡或松香。
4.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述石墨烯薄膜包含1～10层的石墨烯。
5.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，剥离生长衬底包括腐蚀生长衬底，直接撕掉生长衬底，鼓泡法剥离生长衬底；优选为腐蚀生长衬底。
6.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述目标衬底的表面粗糙度为0.1～1000。
7.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，剥离所述转移介质时容器内的环境压强为0.1Pa～0.05MPa；容器内的温度不低于所述转移介质的热变形温度同时不高于所述转移介质的粘流温度。
8.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述向所述转移介质施加压力中施加的压力大小为0.01MPa～100MPa，施加压力的时间为1s～72h。
9.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于，剥离所述转移介质的方法包括腐蚀转移介质，溶解转移介质，直接撕离转移介质，或升华、挥发转移介质。
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