[发明专利]一种单晶硅棒旋转提拉装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，包括：

提拉杆，所述提拉杆的外壁设有长条形键槽，在所述提拉杆的杆壁两侧分别设置有上轴承座和下轴承座，且所述上轴承座和所述下轴承座上均设置有与所述键槽配合的键块；

滑轨，其与所述上轴承座和所述下轴承座固定连接，且所述滑轨与所述提拉杆的中轴线平行；

旋转部件，所述旋转部件包括旋转电机、第一电机安装架以及齿轮，所述齿轮配置在所述上轴承座上，所述旋转电机和所述上轴承座配置在所述第一电机安装架上，所述旋转电机输出端与所述齿轮之间连接有旋转驱动带；

提拉部件，所述提拉部件包括与所述上轴承座连接的第二电机安装架以及配置在所述提拉杆上的提拉件和滑动件，所述第二电机安装架上设置有提拉电机，所述下轴承座上设置有下安装座，所述下安装座上设置有下齿轮辊轴，所述提拉电机的输出端设置有上齿轮辊轴，所述上齿轮辊轴与所述下齿轮辊轴之间通过提拉驱动带连接，所述提拉件与所述提拉驱动带固定连接，所述滑动件滑动的配置在所述滑轨上。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述上轴承座上设置有码盘，所述第一电机安装架上设置有用于感应所述码盘转动圈数的光电耦合器。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述提拉杆为内部设有中空腔体的杆轴结构，所述提拉杆的两端设置有与中空腔体连通的上气流口和下气流口。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述中空腔体内设置有盘管，所述盘管的一端与所述上气流口连接，另一端与所述下气流口连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述提拉杆包括主杆，所述主杆设置有封堵所述主杆上开口的堵头，所述堵头与所述主杆螺纹连接，所述主杆的下开口设置有连杆，所述下气流口配置在所述连杆上，所述连杆的末端连接提拉头。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述中空腔体内填充有冷却液。

7.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述下气流口位于所述下轴承座的下端。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述上轴承座和所述下轴承座上设置有固定所述滑轨的伸入口。

9.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述滑动件包括与所述滑轨滑动设置的滑座和套设在所述提拉杆外壁的上锁固座，所述上锁固座与所述滑座之间通过连接座固定连接。

10.根据权利要求9所述的一种单晶硅棒旋转提拉装置，其特征在于，所述提拉件包括套设在所述提拉杆外壁的下锁固座和提拉轮，其中，所述下锁固座与所述提拉杆固定连接，所述提拉轮位于所述上锁固座和下锁固座之间。