[发明专利]一种新型电路板曝光机在审
申请号: | 202210694740.4 | 申请日: | 2022-06-20 |
公开(公告)号: | CN115032864A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 李晓知;陈志雄;朱文峰;钟鸿 | 申请(专利权)人: | 深圳市中络电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 电路板 曝光 | ||
本发明涉及电路板曝光领域,公开一种新型电路板曝光机,包括设有开口的曝光箱体以及设置于曝光箱体内部用于电路板曝光的若干组曝光机构,曝光机构包括固定于曝光箱体内侧壁用于提供光源的曝光灯板以及滑移设置于曝光箱体内侧壁用于承托电路板和菲林片的玻璃托盘,曝光箱体内部设置有用于供玻璃托盘导向的导向机构,玻璃托盘位于曝光灯板光照的一侧,曝光箱体内部设置有用于驱动若干组玻璃托盘同步滑动的驱动机构。本申请具有改善电路板只能一次一个的进行曝光,从而浪费大量的时间成本的效果。
技术领域
本发明涉及电路板曝光领域,尤其是涉及一种新型电路板曝光机。
背景技术
曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物进行曝光,它常用于半导体制造,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。
如授权公告号为CN203950119U的中国实用新型专利公开一种高效电路板曝光机,包括放板台、曝光室、输送导轨、曝光平台以及曝光灯,放板台的台面与曝光室的入口相对应,曝光灯安装在曝光室内的曝光平台下方,输送导轨为上下平行的两个导轨,每个输送导轨上滑动安装有一曝光平台,曝光平台包括透光平台座和翻转盖,翻转盖可转动打开或合上的安装在透光平台座上,翻转盖内设置有一层挡光膜,曝光室内水平设置有一伸缩气缸,伸缩气缸的两组活塞杆分别与曝光平台连接,曝光室内设置有一顶升气缸,顶升气缸上固定有一灯台座,曝光灯安装在灯台座上方。
针对上述的相关技术,发明人认为电路板曝光需要一定的时间,该装置每次进行电路板曝光时,只能一次一个的进行曝光,从而浪费了大量的时间成本。
发明内容
为了改善曝光机一次一个的进行曝光,从而浪费了大量的时间成本的问题,本申请提供一种新型电路板曝光机。
本申请提供的一种新型电路板曝光机,采用如下的技术方案:
一种新型电路板曝光机,包括设有开口的曝光箱体以及设置于曝光箱体内部用于电路板曝光的曝光机构,曝光机构竖直设置有若干组,所述曝光机构包括固定于曝光箱体内侧壁用于提供光源的曝光灯板以及滑移设置于所述曝光箱体内侧壁用于承托电路板和菲林片的玻璃托盘,所述曝光箱体内部设置有用于供所述玻璃托盘导向的导向机构,所述玻璃托盘位于所述曝光灯板光照的一侧,所述曝光箱体内部设置有用于驱动若干组所述玻璃托盘同步滑动的驱动机构。
通过采用上述技术方案,曝光箱体内部设置有若干组用于电路板曝光的玻璃托盘和曝光灯板,从而实现该曝光机能一次曝光多个电路板,节约了曝光时间;改善了曝光机一次一个的进行曝光,从而浪费了大量的时间成本的问题。
可选的,所述导向机构包括固定于所述曝光箱体内侧壁的若干组滑轨直杆以及固定于所述玻璃托盘侧壁的限位凸块,所述滑轨直杆朝向所述玻璃托盘滑移方向设置,所述限位凸块沿所述滑轨直杆长度方向滑移设置于所述滑轨直杆侧壁,所述限位凸块为形状呈长方体的块状结构。
通过采用上述技术方案,通过限位凸块卡接于滑轨直杆侧壁,玻璃托盘在滑轨直杆的限制下保持水平方向滑移,使得玻璃托盘各个位置距离光照灯板的距离相等,以此实现玻璃托盘受到的光照强度均匀。
可选的,所述驱动机构包括转动安装于曝光箱体内部的限位圆杆、固定于所述限位圆杆周侧的驱动直杆、固定于所述曝光箱体外侧壁的动力电机以及固定于所述限位凸块远离所述玻璃托盘的侧面的限位圆柱,所述动力电机输出轴水平设置,限位圆杆同轴固定于所述动力电机输出轴,若干组所述玻璃托盘侧壁的所述限位圆柱沿所述驱动直杆长度方向滑移设置于所述驱动直杆侧壁。
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