[发明专利]一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法

权利要求书

1.一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)引棒的末端制造一个凸起结构；

2)引棒镶嵌在松散体里的长度增加100mm；

3)在沉积开始阶段，将松散体的密度从原来的0.4g/cm3增大到0.8g/cm3，然后逐渐降低松散体密度至正常水平；

4)松散体密度的控制是通过改变反应气体H2的流量来改变喷灯火焰温度，在反应釜内装有外径探测仪，引棒与提升装置连接处装有重量传感器，在沉积开始阶段，通过这两个传感器采集的信息计算出实时密度，计算出的密度信号再传输给计算机系统，计算机系统通过收到的密度信号实时调整H2的流量，发送指令给气体流量控制器，实时调整火焰温度；

5)密度控制实施的具体过程如下：首先，在沉积开始阶段需设定想要得密度e1、H2初始值A；沉积开始后，系统会不断的的采集松散体外径和重量信息，计算出该时刻的密度e2；计算机系统会将实际密度e2与设定密度e1进行比较，当e2e1时，计算机会给流量控制器发出指令，H2流量按照流量变化率a和流量偏移量b逐渐的减小，从而降低火焰的温度，松散体密度减小；当e2＝e1时，流量调整参数都为0,实际流量保持不变；当e2e1时，H2气流量按照a、b参数逐渐增大，提高火焰温度，从而增大密度；通过不断的信号采集、比较、执行，实际密度e2会在设定密度e1的附近波动，随着控制循环的增加，e2逐渐趋近与e1，最终达到密度的有效控制。

2.根据权利要求1所述的一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法，其特征在于：所述的凸起结构为球形，凸起结构与引棒为一体结构。

3.根据权利要求1所述的一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法，其特征在于：所述的芯棒沉积的起头端采用变化的松散体密度。

4.根据权利要求3所述的一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法，其特征在于：所述的变化的松散体密度分为大密度区和密度过渡区。

5.根据权利要求3所述的一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法，其特征在于：所述的变化的松散体密度控制系统中设置有松散体外径测试仪和重量传感器。

6.根据权利要求3所述的一种解决大尺寸VAD芯棒断裂的方法，其特征在于：所述的变化的松散体密度控制是通过密度控制系统自动、闭环控制的。