[发明专利]一种用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置

权利要求书

1.一种用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述测试装置主要包括供气系统、流量控制系统和颗粒检测系统；其中，所述供气系统为所述比例电磁阀提供经过滤的气体供应；所述流量控制系统控制所述比例电磁阀实现测试所需的运行；所述颗粒检测系统检测所述比例电磁阀出口气体的洁净度。

2.根据权利要求1所述的用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述供气系统依次包括气源、减压阀、供气阀、过滤器和流量计；其中，所述气源用于提供测试所需的挤压气体；所述减压阀用于调节气体压力；所述供气阀用作向所述比例电磁阀提供气体的开关；所述过滤器采用2微米过滤器，确保进入所述比例电磁阀的气体的洁净；所述流量计用于测量所述比例电磁阀出口流量。

3.根据权利要求1或2所述的用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述比例电磁阀通过比例电磁阀工装与所述测试装置封闭稳定连接。

4.根据权利要求1-3任一所述的用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述供气系统、所述颗粒检测系统以及所述比例电磁阀工装需要在十万级洁净间内装配，并在装配前使用超声波清洗机进行彻底清洗。

5.根据权利要求1-4任一所述的用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述颗粒检测系统对气体中不同粒径范围的粒子个数分别进行计数，并配有计时器，基于所述流量计获得流量来计算流经所述比例电磁阀的气体体积，从而得出单位体积内颗粒物数量。

6.根据权利要求1-5任一所述的用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述颗粒检测系统具有颗粒超标检测和达标报警的功能，能够及时掌握分析颗粒动态诊断和控制。

7.根据权利要求1-6任一所述的用于检测比例电磁阀洁净度的测试装置，其特征在于，所述流量控制系统比例电磁阀控制系统主要包含电源模块、信号采集电路、微控制器、驱动电路和主控计算机；其中，所述电源模块用来为所述驱动电路、所述流量计、所述比例电磁阀线圈、所述颗粒物检测系统供电；所述信号采集电路用于采集所述流量计的流量信号和所述比例电磁阀的电信号并传输至所述主控计算机；所述驱动电路用于将获得的电信号进行放大；所述微控制器用于实际的流量需求产生PWM脉冲，用于并通过所述驱动电路驱动所述比例电磁阀线圈，从而实现对于所述比例电磁阀的测试控制。