[发明专利]外延环形红外卤素加热组件及稳态温度场获取方法在审

专利信息
申请号: 202210596167.3 申请日: 2022-05-30
公开(公告)号: CN115379600A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 郑锦;姚铖;陶佳月 申请(专利权)人: 南京原磊纳米材料有限公司
主分类号: H05B3/00 分类号: H05B3/00;H05B3/02;H05B3/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 外延 环形 红外 卤素 加热 组件 稳态 温度场 获取 方法
【权利要求书】:

1.一种外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,包括有反射板(1)和N个环形加热灯,所述N≥1且N为整数,同时N个所述环形加热灯均固定安装在反射板(1)上。

2.根据权利要求1所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,所述环形加热灯通过灯夹头安装板(5)与反射板(1)进行固定连接,所述灯夹头安装板(5)设置在反射板(1)的下端,同时所述反射板(1)和灯夹头安装板(5)之间设置有冷却板(7)。

3.根据权利要求2所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,所述反射板(1)和冷却板(7)的中部均开设有通风散热孔(2),同时在反射板(1)和冷却板(7)上均环形开设有多个方孔(8)。

4.根据权利要求3所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,所述反射板(1)上的方孔(8)与冷却板(7)上的方孔(8)的形状大小相同,同时所述反射板(1)上的方孔(8)与冷却板(7)上的方孔(8)之间一一对应。

5.根据权利要求2或3或4所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,所述反射板(1)、灯夹头安装板(5)和冷却板(7)上均开设有螺纹孔(9),所述反射板(1)、灯夹头安装板(5)和冷却板(7)三者之间通过螺栓穿过螺纹孔(9)进行固定连接。

6.根据权利要求2或3或4所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,每个所述环形加热灯均包括有M个圆弧形卤素加热灯(3),所述M≥2且M为整数,每个所述圆弧形卤素加热灯(3)的端部均设置有陶瓷灯座(6),所述陶瓷灯座(6)穿过方孔(8)后,与所述灯夹头安装板(5)之间通过螺栓进行固定连接。

7.根据权利要求6所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,彼此相邻的两个所述圆弧形卤素加热灯(3)的端部之间通过灯夹头(4)进行固定连接。

8.根据权利要求5所述的外延环形红外卤素加热组件,其特征在于,所述灯夹头(4)的外尺寸与方孔(8)的内尺寸相同。

9.一种根据权利要求1-8任一项所述的外延环形红外卤素加热组件的稳态温度场获取方法,其特征在于,所述稳态温度场获取方法具体如下:

获取外延环形红外卤素加热组件的发热功率,并根据所述发热功率确定传导功率的散度;

通过发热功率和传导功率散度之间的关系,确定出稳态温度场三维泊松方程的一般形式,具体为:

其中:λ为截止导热系数,为温度梯度,ρ0为给定温度下的电阻系数,α为电阻温度系数,T为时间系数,J为电流密度,G为的外延环形红外卤素加热组件的稳态温度场。

10.根据权利要求9所述的外延环形红外卤素加热组件的稳态温度场获取方法,其特征在于,根据所述发热功率确定传导功率的散度,具体如下:

将温度变化率转化为温度梯度的形式,具体为:

其中:pc为外延环形红外卤素加热组件的热传导功率,λ为截止导热系数,为温度梯度;

确定外延环形红外卤素加热组件的发热功率,具体为:

Pr=ρ0(1+αT)J2

其中:Pr为外延环形红外卤素加热组件的发热功率,ρ0为给定温度下的电阻系数,a为电阻温度系数,T为时间系数,J为电流密度;

在稳态温度场中任意点的单位体积发热功率均等于传导功率的散度,具体为:

其中:Pr为外延环形红外卤素加热组件的发热功率,λ为截止导热系数,为温度梯度。

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