[发明专利]干式机械密封真空泵

说明书

本发明的实施例提供了一种干式机械密封真空泵，涉及真空泵技术领域。干式机械密封真空泵包括轴承、转子、端盖和干式机械密封装置，轴承、端盖和干式机械密封装置均套设在转子的端部，干式机械密封装置夹持在轴承与端盖之间；干式机械密封装置包括动环密封组件和静环密封组件，动环密封组件套设在转子上、且随转子同步转动，静环密封组件连接在端盖上，动环密封组件的端面与静环密封组件的端面为一对摩擦副。通过采用干式机械密封装置能够提高干式真空泵的真空度，增加泵腔体和轴承箱的密封性能，从而提高泵的使用寿命和改善上游设备的工艺环境，避免工艺气体遭受油污染，同时，避免泵腔内灰尘进入轴承箱，对轴承造成破坏。

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，具体而言，涉及一种干式机械密封真空泵。

背景技术

随着经济的发展，社会的进步，光伏半导体行业的设备工艺，对干式真空泵的真空度和真空环境的清洁度的要求越来越高，工艺气体的腐蚀性和灰尘越来越大，极大地挑战着真空泵的性能，如何有效阻隔工艺气体和灰尘进入轴承箱破坏轴承，轴承箱油进入真空泵腔体破坏真空度和上游设备，成了干式真空泵的关键问题。

现有密封技术，主要依靠唇封和迷宫密封，对工艺介质和轴承箱进行隔离，但是它们都属于非接触式密封，密封能力一般，并持续有泄漏的存在，可见，迷宫密封和唇封的密封效果差，无法满足日益苛刻的工艺条件，具体缺陷如下：

1.为非接触式密封，密封效果差；

2.唇封的使用寿命短，更换麻烦；

3.耐高温、强腐蚀性能力较差；

4.唇封的唇边易快速被磨损，残渣容易进入泵腔，对泵腔造成危害。

发明内容

本发明的目的包括提供一种干式机械密封真空泵，其能够提高干式真空泵的真空度，增加泵腔体和轴承箱的密封性能，从而提高泵的使用寿命和改善上游设备的工艺环境，避免工艺气体遭受油污染。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种干式机械密封真空泵，干式机械密封真空泵包括轴承、转子、端盖和干式机械密封装置，轴承、端盖和干式机械密封装置均套设在转子的端部，干式机械密封装置夹持在轴承与端盖之间；

干式机械密封装置包括动环密封组件和静环密封组件，动环密封组件套设在转子上、且随转子同步转动，静环密封组件连接在端盖上，动环密封组件的端面与静环密封组件的端面为一对摩擦副。

本发明实施例提供的干式机械密封真空泵的有益效果包括：

1.干式机械密封装置采用动环密封组件与静环密封组件接触式密封，密封效果好，泄漏量很小；

2.采用干式机械密封装置，使用寿命长，减小停机维修的时间成本；

3.干式机械密封装置耐高温、耐腐蚀性能较好，适用在严苛的真空泵中，明显提高真空泵的使用性能；

4.采用干式机械密封装置能够使密封接触面较小、相互之间的摩擦较小，减少发热，具有较好的密封性能和较长的使用寿命；

5.不需要再采用液体作为密封接触面的液膜来进行密封，避免液体进入腔体、破坏工艺介质。

在可选的实施方式中，干式机械密封真空泵还包括弹簧，弹簧夹持在端盖与静环密封组件之间，弹簧用于将静环密封组件推向动环密封组件。

这样，利用弹簧将静环密封组件推向动环密封组件，保证静环密封组件与动环密封组件具有较大的相对挤压力，保证二者形成的密封接触面密封性能较好。

在可选的实施方式中，弹簧对静环密封组件的弹力为：25N～30N。