[发明专利]一种炉体可移动式开启式管式炉在审
申请号: | 202210564798.7 | 申请日: | 2022-05-23 |
公开(公告)号: | CN114838592A | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 邾根祥;江晓平;王伟 | 申请(专利权)人: | 合肥科晶材料技术有限公司 |
主分类号: | F27B17/02 | 分类号: | F27B17/02;F27D3/12 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 陈天林 |
地址: | 230000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 炉体可 移动式 开启 式管式炉 | ||
1.一种炉体可移动式开启式管式炉,包括支撑架(1),支撑架(1)上设置有加热炉(12),其特征在于,所述支撑架(1)上设置有安装架(22),安装架(22)中设置滚珠丝杆(5),滚珠丝杆(5)的一端设置有步进电机(1)和联轴器(2),滚珠丝杆(5)上配合设置连接板(21),通过控制步进电机(1)运转,能够实现连接板(21)沿着滚珠丝杆(5)的轴向移动;连接板(21)上固定有无杆气缸滑块(4),无杆气缸滑块(4)上设置有空心石英管(6),空心石英管(6)与无杆气缸滑块(4)之间通过连接块(20)进行固定连接,空心石英管(6)的一端固定有石英坩埚(11),需要热处理的物料放置在石英坩埚(11)中,加热炉(12)中心位置设置有石英管(13),无杆气缸滑块(4)能够带动石英坩埚(11)进入或者离开加热炉(12);
所述安装架(22)与石英管(13)之间通过快捷法兰(9)进行连接,快捷法兰(9)包括左法兰(91)和右法兰(92),左法兰(91)固定在安装架(22)的一侧,右法兰(92)固定在石英管(13)一侧,左法兰(91)与右法兰(92)之间通过卡箍进行固定;
所述支撑架(17)上端还设置能够滑动的第二滑块(18),安装架(22)固定在第二滑块(18)的上端。
2.根据权利要求1所述的一种炉体可移动式开启式管式炉,其特征在于,所述支撑架(17)的上设置有滑轨(15)和第一滑块(16),第一滑块(16)与滑轨(15)相互配合并可沿着滑轨(15)进行滑动,加热炉(12)固定在第一滑块(16)的上端。
3.根据权利要求1所述的一种炉体可移动式开启式管式炉,其特征在于,所述无杆气缸滑块(4)的一侧设置有K型热电偶(3),用于检测物料的温度。
4.根据权利要求1所述的一种炉体可移动式开启式管式炉,其特征在于,所述右法兰(92)上端设置有进气口(7),进气口(7)处设置有机械压力表(8),用于检测石英管(13)内的压力。
5.根据权利要求1所述的一种炉体可移动式开启式管式炉,其特征在于,所述空心石英管(6)上设置有石英挡板(10),起到阻挡热传导的作用。
6.根据权利要求1所述的一种炉体可移动式开启式管式炉,其特征在于,所述支撑架(17)的一侧设置有操作屏(19+),通过操作屏可以设置石英坩埚(11)的位置,以及读取物料温度。
7.根据权利要求1所述的一种炉体可移动式开启式管式炉,其特征在于,所述石英管(13)远离右法兰(92)一端固定安装有低真空法兰(14)。
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