[发明专利]基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计

权利要求书

1.一种基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述宽波段波长计包括沿主光路方向依次共轴设置的光纤端口(1)、凹面反射镜(2)，沿第一子光路依次共轴设置的第一平面反射镜(3)、Fizeau单级腔(4)、第一柱面镜(5)和第一线阵探测器(6)，以及沿第二子光路依次共轴设置的第二平面反射镜(7)、Fizeau多级腔(8)、第二柱面镜(9)和第二线阵探测器(10)；所有光学元件相对于仪器底座平面同轴等高；

光纤端口(1)发出的光经凹面反射镜(2)后，以平行光入射至第一反射镜(3)与第二反射镜(7)，在第一子光路中，平行光经第一反射镜(3)反射后入射至Fizeau单级腔(4)中发生干涉，之后从Fizeau单级腔(4)后底面出射经第一柱面镜(5)聚焦至第一线阵探测器(6)；在第二子光路中，平行光经第二反射镜(7)反射后入射至Fizeau多级腔(8)中发生干涉，之后从Fizeau多级腔(8)后底面出射经第二柱面镜(9)聚焦至第二线阵探测器(10)。

2.根据权利要求1所述的基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述光纤端口(1)位于凹面反射镜(2)的焦点位置处。

3.根据权利要求1所述的基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述Fizeau单级腔(4)包括沿第一子光路方向依次设置且胶合的第一基板(41)、第一空心圆柱(42)和第一盖板(43)；所述第一基板(41)的后底面镀部分反射部分透射膜；第一盖板(43)的前底面镀部分反射部分透射膜。

4.根据权利要求3所述的基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述第一空心圆柱(42)的前后底面存在一定夹角。

5.根据权利要求1所述的基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述Fizeau多级腔(8)包括沿第二子光路方向依次设置且胶合的第二基板(81)、第二空心圆柱(83)和第二盖板(84)，所述第二空心圆柱(83)内设有阶梯镜(82)；第二基板(81)后底面与阶梯镜(82)前底面相胶合；所述阶梯镜(82)后底面镀部分反射部分透射膜；第二盖板(84)的前底面镀部分反射部分透射膜。

6.根据权利要求5所述的基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述第二空心圆柱(83)的前后底面存在一定夹角。

7.根据权利要求5所述的基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计，其特征在于，所述阶梯镜(82)包括从上至下依次堆叠的第一阶梯至第四阶梯，每个阶梯的横截面为矩形，该矩形沿光束的截面方向的边为短边，沿光束方向的边为长边，每个阶梯的短边与第二基板(81)胶合。

8.根据权利要求7所述的单通道型多级斐索波长测量装置，其特征在于，所述第一阶梯至第四阶梯的宽度相同，第一阶梯至第四阶梯的长度依次增大。