[发明专利]一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法

说明书

本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法，包括底盘和下炉膛，下炉膛上设有降温装置，降温装置包括套设于下炉膛外的环形固定架；套设于下炉膛外围、开口朝上的水箱，该水箱位于环形固定架的下方；套设于水箱外的环形引风套，该环形引风套下部连接水箱，环形引风套开口朝上，环形引风套的底部设有进风口；环形固定架外圈设有自由转动的环形齿圈，该环形齿圈外圈啮合若干小齿轮，小齿轮连接第一转轴，第一转轴伸入环形引风套内连接风扇；其中一个小齿轮连接电机。本发明只需一个电机即可促进水的旋转循环、水平循环、上下循环、喷水降温，利用风扇降温等等，提高水的散热效率。

技术领域

本发明涉及单晶炉部件领域，尤其是涉及一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法。

背景技术

目前有的单晶炉会将下炉膛和底盘进行组装，然后在与整个单晶炉进行安装。目前对于下炉膛的冷却装置，如专利号为ZL202010147888.7，一种单晶炉结构及其使用方法，该装置采用水冷降温，但其存在缺点：(1)降温装置、冷却机构独立于单晶炉外，占用体积大，结构复杂，制造成本高，而且无法与下炉膛设计成一体结构。(2)无法在使用过程中及时对水进行冷却，进而无法保证冷却效果。(3)无法有效促进水的循环降温，保持水冷效果。(4)所需动力部件多，使用成本高。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种能够集成于下炉膛上，减少空间占用，只需用到一个电机即可促进水循环，对水进行及时降温，使用成本低的一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，包括底盘和连接底盘的下炉膛，所述底盘上设有真空法兰、电极法兰及坩埚法兰，所述下炉膛上设有降温装置，该降温装置包括

套设于下炉膛外的环形固定架；

套设于下炉膛外围、开口朝上的水箱，该水箱位于环形固定架的下方；

套设于水箱外的环形引风套，该环形引风套下部连接水箱，该环形引风套开口朝上，环形引风套的底部设有进风口；

所述环形固定架外圈设有可自由转动的环形齿圈，该环形齿圈外圈啮合若干小齿轮，小齿轮连接第一转轴，第一转轴伸入环形引风套内连接风扇；其中一个小齿轮连接电机；

所述环形固定架位于环形齿圈下方固定有环形的磁圈，该磁圈沿周向交替设置磁极相反的第一磁块；

所述环形固定架位于磁圈的下方设置环形的轨迹环，轨迹环顶面沿周向形成波浪形的轨迹面；所述环形齿圈底部沿周向分布若干水泵，水泵包括一端固定于环形齿圈下端的泵杆、泵体及弹簧，泵杆另一端移动穿入泵体内，泵杆外套设弹簧，弹簧两端压缩于环形齿圈和泵体上，水泵的底部于弹簧作用下压紧于轨迹面，水泵包括穿入水箱内的进水管和喷水管，水泵上设有可水平移动的移动杆，移动杆头端伸入水箱内连接推水部件，移动杆尾端正对磁圈处设有与第一磁块配合的第二磁块，第二磁块磁极为S极或者N极；所述水箱外壁连通U形循环管，U形循环管位于环形引风套内；

所述移动杆头端连接倾斜板，倾斜板下端位水箱上方，倾斜板上端倾斜至环形引风套上方，所述喷水管正对倾斜板上端面。

本发明的水箱、环形固定架及环形引风套均集成于下炉膛上，结构紧凑，减少了空间占用，而且只需一个电机即可驱动推水部件反复升降的时反复水平移动，促进水的水平和上下循环，保证对下炉膛进行充分降温；同时该电机还带动风扇加速环形引风套内的空气流动，加速水的降温，而且该电机还能带动水泵将水箱内的水喷至倾斜板上进行降温，大大降低了使用成本。

进一步地，所述倾斜板朝向喷水管的正面设有蛇形的引水沟，所述风扇位于倾斜板背面处。该蛇形引水沟可延长水在倾斜板上的停留时间，进而提高水的降温效果。