[发明专利]一种高纯液化气体用集中控制输送装置

说明书

本发明公开了一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器，所述装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器均设于装置本体内部，所述吹扫机以通气管道与输送管道相连通，所述钢瓶、过滤器、蒸发器之间分别以输送管道相连。所述集中控制输送装置还包括气路传动机构、滤网清理机构、杂质处理机构、阀门机构和检漏机构，所述气路传动机构与通气管道相装配，所述杂质处理机构与蒸发器相装配，所述滤网清理机构与过滤器相装配，所述阀门机构装配于钢瓶的出口端，所述检漏机构的一端与阀门机构以管道相连，检漏机构的另一端与输送管道相连。

技术领域

本发明涉及高纯液化气体用相关设备技术领域，具体为一种高纯液化气体用集中控制输送装置。

背景技术

由于微电子半导体制程日趋复杂化，其使用的制程特气皆具有相当的危险性，特气供应系统设备都需要根据实际需求进行特殊定制，为此特气专用的控制输送装置应运而生。这种控制输送装置可满足各种高纯行业，如微电子、半导体、医药等生产要求二设计的，具有高性能和高纯度的特点。通常控制输送装置会设有两路工艺气体，只有一路输送管线，采用“交叉”送气的方式，当一路工艺气体钢瓶瓶空时，另一路工艺气体可以切换到“在线”模式；当切换完成后，空瓶的管线将进行吹扫。

本发明提供一种高纯液化气体用集中控制输送装置，可自动应对气体输送过程中发生的气体泄漏状况，实时监控和输送高纯有毒气体，避免对人身造成不必要的危害；另外，本发明把吹扫切换钢瓶过程作为驱动力，对于输送过程中产生的杂质进行清理作用，以此保证气体的高性能和高纯度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高纯液化气体用集中控制输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器。吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器均设于装置本体内部。吹扫机以通气管道与输送管道相连通，钢瓶、过滤器、蒸发器之间分别以输送管道相连。当一路气体钢瓶瓶空时，需切换另一路气体钢瓶，当切换完成后，吹扫机通过通气管道对空瓶钢瓶的输送管道进行吹扫作用。

进一步的，所述集中控制输送装置还包括气路传动机构、滤网清理机构、杂质处理机构、阀门机构和检漏机构。气路传动机构与通气管道相装配，设置的目的在于吹扫机利用氮气对输送管道实现吹扫作用的过程，将氮气的流动态转化为驱动力并传动至其他机构，从而实现作用。杂质处理机构与蒸发器相装配，设置的目的在于将蒸发器侧壁上残留以及底部液相杂质一并清除且收集处理，以此保证气体的高性能和高纯度。滤网清理机构与过滤器相装配，设置的目的在于过滤器整体作用，达到杂质清理的目的，从而保证气体的高纯度。阀门机构装配于钢瓶的出口端，起到控制钢瓶连通与否的作用，利于实现液化气体的输送。检漏机构的一端与阀门机构以连通管道相连，检漏机构的另一端与输送管道相连，设置的目的在于：一是起到连通钢瓶与输送管道的作用；二是可自动应对气体输送过程中发生的气体泄漏状况，实时监控和输送高纯有毒气体，避免对人身造成不必要的危害。

进一步的，所述气路传动机构包括支架、旋转叶片、主动蜗轮、蜗杆、被动蜗轮、传动齿轮和传动齿带。支架以竖直均匀排布于通气管道内部，支架的两端分别与通气管道的内侧壁固定连接。旋转叶片转接于支架的一侧，主动蜗轮设于旋转叶片背靠近支架的一侧，蜗杆以水平方向设置并与主动蜗轮传动相接，蜗杆的两端分别穿过通气管道并向外延伸，被动蜗轮、传动齿轮分别转接于装置本体的侧壁上并以传动齿带相连，被动蜗轮设于蜗杆的两端并与蜗杆传动相接。