[发明专利]致动器装置

说明书

一种致动器装置。由配线基板支撑的金属基板具有可动部、第1延伸部、将第1延伸部与可动部连结的第1连结部、和与第1延伸部连接的第1连接部。第1连接部包括：固定于配线基板的第1固定区域；和与第1延伸部和第1固定区域连接的第1连接区域。第1连接区域包含第1弯曲部分。第1弯曲部分具有可动部侧的第1外缘和与可动部为相反侧的第2外缘，第1外缘和第2外缘分别在从Z轴方向观察的情况下向可动部侧弯曲。

技术领域

本发明涉及致动器装置。

背景技术

已知有包括支撑体、由支撑体支撑的金属基板、和配置于金属基板所具有的主体部的振动元件的致动器装置。在这样的致动器装置中，有时金属基板还具有可动部、以可动部位于其间的方式从主体部延伸的一对延伸部、将一对延伸部与可动部连结的一对连结部、和与一对延伸部连接的一对连接部，各连接部的一部分固定于支撑体(例如，参照日本特开2020-187292号公报)。

发明内容

在上述那样的致动器装置中，支撑体因环境温度的变化而膨胀或收缩，由此，不需要的应力经由固定于支撑体的各连接部的一部分作用于各连结部和主体部，其结果是，存在金属基板的共振频率变化等无法得到期望的驱动特性的可能。

本发明的目的在于提供一种即使例如环境温度发生变化，也能够稳定地获得期望的驱动特性的致动器装置。

本发明的一个方面的致动器装置包括：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；配置于金属基板所具有的主体部的振动元件，金属基板还具有：可动部；以可动部位于彼此之间的方式从主体部延伸的第1延伸部和第2延伸部；将第1延伸部与可动部连结的第1连结部；将第2延伸部与可动部连结的第2连结部；和与第1延伸部连接的第1连接部；与第2延伸部连接的第2连接部；和与主体部连接的第3连接部，第1连接部包含：固定于支撑体的第1固定区域；和与第1延伸部和第1固定区域连接的第1连接区域，第2连接部包含：固定于支撑体的第2固定区域；和与第2延伸部和第2固定区域连接的第2连接区域，第3连接部包含：固定于支撑体的第3固定区域；和与主体部和第3固定区域连接的第3连接区域，第1连接区域包括第1弯曲部分，第2连接区域包括第2弯曲部分，第1弯曲部分具有可动部侧的第1外缘和与可动部为相反侧的第2外缘，第2弯曲部分具有可动部侧的第3外缘和与可动部为相反侧的第4外缘，第1外缘和第2外缘分别在从金属基板的厚度方向观察的情况下向可动部侧弯曲，第3外缘和第4外缘分别在从金属基板的厚度方向观察的情况下向可动部侧弯曲。

附图说明

图1是一个实施方式的致动器装置的立体图。

图2是图1所示的致动器装置的俯视图。

图3是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。

图4是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。

图5是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。

图6是图1所示的金属基板的一部分的俯视图。

图7是图1所示的金属基板的一部分的俯视图。

图8是第1变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。

图9是第2变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。

图10是第3变形例的金属基板的的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

[致动器装置的结构]