[发明专利]微压设备保护用安全阀和微压设备

说明书

本申请提供一种微压设备保护用安全阀和微压设备，涉及储物技术领域，安全阀包括阀体、阀芯、驱动组件和复位组件。阀体设有泄压孔和第一密封部；阀芯设有第二密封部和通气孔，阀芯用于在第一位置和第二位置之间切换，在第一位置时第一密封部和第二密封部贴合以关闭泄压孔，在第二位置时第一密封部与第二密封部分离以打开泄压孔。驱动组件包括壳体、膜片和传动件，壳体与阀体连接，膜片的有效表面积大于第一密封部的有效表面积，膜片设于壳体内且将壳体分隔形成相互独立的第一腔室和第二腔室，第一腔室与通气孔连通；传动件同时连接膜片和阀芯。复位组件与壳体连接，复位组件用于使阀芯具有从第二位置向第一位置运动的趋势。灵敏度高，密封性好。

技术领域

本发明涉及储物技术领域，具体而言，涉及一种微压设备保护用安全阀和微压设备。

背景技术

真空手套箱、惰性气体保护箱等微压气体设备或系统中，通常需要将设备内空气抽出并充入惰性气体，惰性气体充入压力一般略高于大气压力，设备或系统的最大工作压力通常≤800Pa。在充入惰性气体过程中，如操作不当可能会导致充入气体压力超过设备的最大工作压力，为保护设备正常工作，通常需要在设备上安装安全阀，使超压气体能准确自动排放。为避免超压气体排放后，设备中正常压力的惰性气体不外泄，需要该安全阀在较低的启闭范围内能实现严密密封。目前，现有技术的安全阀因结构限制，不能满足1Kpa以下微压气体超压安全排放。一般情况下，该类设备上使用单呼阀来进行超压排放，而单呼阀采用调整自身阀瓣重量来设定呼出压力，密封性差，或者需要很大范围的启闭压差才能实现较好密封，设备中充入的惰性气体容易外泄，不利于设备正常工作。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微压设备保护用安全阀和微压设备，其能够在满足微压设备内部压力在1Kpa以下的前提下实现微压气体超压安全排放，并且能在≥90％整定压力范围内严密密封。

本发明的实施例是这样实现的：

第一方面，本发明提供一种微压设备保护用安全阀，包括：

阀体、阀芯、驱动组件和复位组件；

所述阀体设有泄压孔以及第一密封部；所述阀芯设有第二密封部以及用于连通所述微压设备的内腔的通气孔，所述阀芯与所述阀体活动连接，用于在第一位置和第二位置之间切换，处于所述第一位置时，所述第一密封部和所述第二密封部贴合以关闭所述泄压孔，处于所述第二位置时，所述第一密封部与所述第二密封部分离以打开所述泄压孔；

所述驱动组件包括壳体、膜片和传动件，所述壳体与所述阀体连接，所述膜片的有效表面积大于所述第一密封部的有效表面积，所述膜片设于所述壳体内且将所述壳体分隔形成相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室连通所述通气孔；所述传动件同时连接所述膜片和所述阀芯；

所述复位组件与所述壳体连接，所述复位组件用于使所述阀芯具有从所述第二位置向所述第一位置运动的趋势。

在可选的实施方式中，所述膜片的有效表面积与所述第一密封部的有效表面的比值设置在10-20之间。

在可选的实施方式中，所述阀体包括主体和阀座，所述主体设置有进气通道和出气通道，所述进气通道与所述通气孔连通；处于所述第一位置时，所述进气通道与所述出气通道阻断；处于所述第二位置时，所述进气通道通过所述泄压孔连通所述出气通道；所述泄压孔设于所述阀座上，所述泄压孔具有第一端口和第二端口，所述第一密封部设于所述第一端口所在端面上。

在可选的实施方式中，所述第一密封部设置为围绕所述泄压孔的端口设置的环形凸部，所述环形凸部的横截面面积在从所述第一端口向所述第二端口的方向上逐渐增大。

在可选的实施方式中，所述环形凸部背离所述第一端口的侧面设置为用于与所述第二密封部贴合的弧形面。