[发明专利]基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器及涂布制造方法

权利要求书

1.一种基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器，其特征在于，包括介电弹性体层(1)、柔性电极(2)，所述介电弹性体层(1)和所述柔性电极(2)分别设有多层，多层所述介电弹性体层(1)与多层所述柔性电极(2)相互交替设置。

2.根据权利要求1所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器，其特征在于，所述介电弹性体层(1)的材料包括硅胶、丙烯酸，所述介电弹性体层(1)的成分与性能可通过改变液态介电材料的各组分含量进行调节。

3.根据权利要求1所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器，其特征在于，所述柔性电极(2)的材料包括碳纳米管、PEDOT:PSS、银纳米线，所述柔性电极(2)的成分与性能可通过改变电极材料溶液的各组分含量进行调节。

4.一种根据权利要求1-3任意一项所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器的涂布制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1.配置液态介电材料，所述液态介电材料包括单组分硅胶、多组分硅胶、丙烯酸，搅拌；

步骤2.将基底(3)置于涂布工具(8)的涂布区域，再涂布所述介电弹性体层(1)，取下带有所述介电弹性体层(1)的所述基底(3)首先放置于真空箱(9)中真空脱泡，随后放置于真空加热箱(10)中真空加热至所述介电弹性体层(1)完全固化；

步骤3.使用搅拌工具(6)将含有所述柔性电极(2)材料的溶液充分搅拌，使用抽滤系统(7)抽滤含有所述柔性电极(2)材料的溶液，将所述柔性电极(2)材料抽滤至滤纸(5)上，并等待其干燥；

步骤4.将覆盖于所述滤纸(5)表面的所述柔性电极(2)拓印在覆盖有掩膜(4)的所述介电弹性体层(1)上，随后取下所述滤纸(5)与所述掩膜(4)；

步骤5.重复步骤2至步骤4，直至所述介电弹性体层(1)的数量满足所需要求；

步骤6.从所述基底(3)上取下制成的介电弹性体驱动器。

5.根据权利要求4所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器的涂布制造方法，其特征在于，涂布制造方法包括制造设备，所述制造设备包括搅拌工具(6)、抽滤系统(7)、涂布工具(8)、真空箱(9)、真空加热箱(10)、真空发生器(11)以及空气净化系统(12)，所述涂布工具(8)、所述真空箱(9)与所述真空加热箱(10)分别连接对应的所述真空发生器(11)，所述抽滤系统(7)与对应的所述真空发生器(11)连接设置，所述涂布工具(8)、所述真空箱(9)、所述真空加热箱(10)以及对应的所述真空发生器(11)置于所述空气净化系统(12)内。

6.根据权利要求4所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器的涂布制造方法，其特征在于，在步骤2中，所述介电弹性体层(1)的厚度为大于1微米小于5毫米。

7.根据权利要求4所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器的涂布制造方法，其特征在于，所述液态介电材料可选择添加适量稀释剂。

8.根据权利要求4所述的基于涂布工艺制造的介电弹性体驱动器的涂布制造方法，其特征在于，在步骤6中，取下制成的所述介电弹性体驱动器，与所述基底(3)相连的所述介电弹性体层(1)有未拓印所述柔性电极(2)的一侧，可以选择对所述介电弹性体驱动器进行卷曲、拓印电极等进一步操作。