[发明专利]一种平面型柔性热电器件电极及其制备方法、热电器件

权利要求书

1.一种平面型柔性热电器件电极，其特征在于，包括衬底、位于衬底上表面间隔排列的多个正面电极、和位于衬底下表面间隔排列的多个反面电极；

所述衬底上开设有通孔阵列，衬底上表面靠近通孔位置设置有预留区；孔内壁设有导电金属层，导电金属层上靠近预留区一侧设置有热电臂且热电臂延伸至预留区；按照“正面电极-热电臂-反面电极”的连接顺序依次串联实现电连通。

2.根据权利要求1所述的平面型柔性热电器件电极，其特征在于，导电金属层远离预留区一侧向通孔中心凸起。

3.根据权利要求1所述的平面型柔性热电器件电极，其特征在于，正面电极、反面电极和导电金属层的材质相同。

4.根据权利要求3所述的平面型柔性热电器件电极，其特征在于，导电金属层的材质为银。

5.如权利要求1-4任一项所述的平面型柔性热电器件电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在PI薄膜衬底上打孔，形成通孔阵列；

S2、将有通孔阵列的PI薄膜衬底清洗干净，采用氢氧化钠溶液浸泡进行开环预处理；再采用可溶性金属化合物溶液浸泡处理，取出，用去离子水清洗，干燥；然后再放入硼氢化钠溶液中浸泡处理，去离子清洗，干燥，得到上、下表面及通孔内均沉积导电金属的衬底；

S3、根据正面电极、反面电极及通孔内导电金属层的结构，分别设计衬底上表面和下表面的牺牲层图案，对沉积导电金属的衬底进行掩模刻蚀，得到图案化的正面电极、负面电极及内壁有导电金属层的通孔。

6.根据权利要求5所述的平面型柔性热电器件电极的制备方法，其特征在于，S1中，采用激光雕刻打孔。

7.根据权利要求5所述的平面型柔性热电器件电极的制备方法，其特征在于，S2中，可溶性金属化合物为硝酸银。

8.根据权利要求5所述的平面型柔性热电器件电极的制备方法，其特征在于，S2中，采用4mol/L氢氧化钠溶液浸泡1-2h进行开环预处理。

9.根据权利要求5所述的平面型柔性热电器件电极的制备方法，其特征在于，S2中，采用0.02mol/L硝酸银溶液浸泡处理5-40min，然后再采用4mmol/L硼氢化钠溶液浸泡处理5-30min。

10.一种平面型柔性热电器件，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的平面型柔性热电器件电极，及设置于通孔内并延伸至衬底上表面的热电臂。