[发明专利]一种超低温高精密温度控制系统

权利要求书

1.一种超低温高精密温度控制系统，其特征在于，包括：PCW系统(100)、高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)、低温侧压缩机冷媒制冷系统(300)和循环液系统(400)组成的超低温高精密温度控制系统；

所述PCW系统(100)用于输入厂务冷却水并与冷媒进行换热带走冷媒中的热量后再回到PCW系统(100)中的回水系统中；

所述高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)用于与PCW系统(100)输入的厂务冷却水进行换热后降低冷媒压力、调整冷媒流量，并与低温侧压缩机冷媒制冷系统(300)中冷媒进行换热，使低温低压冷媒气体变为高温高压气体；

所述低温侧压缩机冷媒制冷系统(300)用于吸收高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)中冷媒的冷量使高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)中的冷媒变为低压气体，并与高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)中冷媒进行换热后降低冷媒压力、调整冷媒流量，使低温低压冷媒气体变为高温高压气体；

所述循环液系统(400)用于吸收高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)和低温侧压缩机冷媒制冷系统(300)中冷媒的冷量进行降温，并对循环液系统(400)中的流体温度微调后供给客户端设备。

2.根据权利要求1所述的一种超低温高精密温度控制系统，其特征在于：所述PCW系统(100)包括通过管道依次相连的过滤器(17)、冷凝器(18)、第一手阀(19)和压力控制阀(20)；

所述过滤器(17)的出液端与冷凝器(18)的进液端连通，所述冷凝器(18)的出液端通过管道依次连接有第一手阀(19)和压力控制阀(20)。

3.根据权利要求1所述的一种超低温高精密温度控制系统，其特征在于：所述高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)包括第一压缩机(21)、第一压力开关(22)、第一高压压力表(23)、第一高压压力传感器(24)、第一视液镜(25)、第一电子膨胀阀(26)、第二电子膨胀阀(27)、第三电子膨胀阀(28)、预冷器(29)、第一低压压力传感器(30)和第一低压压力表(31)。

4.根据权利要求3所述的一种超低温高精密温度控制系统，其特征在于：所述第一压缩机(21)的一端分为两个支路，一个支路通过管道依次与第一高压压力表(23)、第一高压压力传感器(24)和第二电子膨胀阀(27)相连，另一个支路与冷凝器(18)相连；

所述冷凝器(18)通过管路与第一视液镜(25)相连后分为两个支路，一个支路通过管道依次与第三电子膨胀阀(28)和预冷器(29)连通，所述第二电子膨胀阀(27)的末端与第三电子膨胀阀(28)出液端连通，另一个支路从第一视液镜(25)的后端与第一电子膨胀阀(26)连通，所述第一电子膨胀阀(26)的出液端与预冷器(29)的出液端连通，所述第一电子膨胀阀(26)的出液端通过管道依次与第一低压压力传感器(30)、第一低压压力表(31)以及第一压缩机(21)的冷媒进入端连通。

5.根据权利要求3或4所述的一种超低温高精密温度控制系统，其特征在于：所述第一压力开关(22)通过管道并接在第一压缩机(21)的两个端口上，所述第一压力开关(22)用于设置高温侧压缩机冷媒制冷系统(200)中冷媒压力的高低压上下限值。

6.根据权利要求1所述的一种超低温高精密温度控制系统，其特征在于：所述低温侧压缩机冷媒制冷系统(300)包括第二压缩机(32)、油分离器(33)、第二压力开关(34)、第二高压压力传感器(35)、第二高压压力表(36)、第二视液镜(37)、第四电子膨胀阀(38)、第五电子膨胀阀(39)、第六电子膨胀阀(40)、膨胀罐(41)、第二低压压力表(42)和第二低压压力传感器(43)。