[发明专利]一种声表面波谐振器

说明书

本发明实施例公开了一种声表面波谐振器，包括：压电基板；插指换能结构，位于压电基板的一侧；插指换能结构包括相对设置的两个汇流条，以及并排设置在两个汇流条之间的多个电极指；每个电极指交替电连接到汇流条中的一个汇流条；多个假指，每一假指对应位于一电极指末端与对侧的汇流条之间；沿平行于汇流条的方向，假指的宽度等于电极条的宽度；在假指、电极指以及反射栅的栅格导体靠近压电基板的一侧、远离压电基板的一侧，或者在假指、电极指以及反射栅的所在层设置有声速突变结构；本结构通过在靠近假指、电极指以及反射栅的位置设置声速突变结构，可有效的抑制横向模式的同时，保证了谐振器的Q值。

技术领域

本发明实施例涉及声表面波器件技术领域，尤其涉及一种声表面波谐振器。

背景技术

在现代通信系统中，滤波器常被用来过滤目标通信频段之外的不必要信号。声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器由于高Q值、体积小、高可靠性、易于大批量生产等优势，已被广泛应用于高频滤波器设计。SAW一般由压电基板、插指换能器(InterDigital Transducter，IDT)、反射栅组成，采用半导体工艺生产制备。

通常，SAW谐振器在激发主要波模的同时，会产生不需要的横模，在SAW滤波器的频率响应上，横模会引入杂散响应，降低IDT的Q值，增加滤波器的插入损耗，对器件性能造成较大影响，这主要由于能量泄露引起，尤其在异质半导体薄膜中尤为突出。现有的横模抑制方法，如在插指(电极指)对侧的汇流条上增加dummy指(假指)，dummy的宽度和厚度一般与插指(电极指)保持一致，但是横模抑制效果不佳。再比如dummy指加权的方法，虽然抑制横模效果较好，但是可能会影响谐振器Q值，增大滤波器损耗。因此如何有效抑制SAW谐振器激发的横模，一直是工程设计中的一大挑战。

发明内容

本发明实施例提供了一种声表面波谐振器，以有效抑制横向模式的同时，保证谐振器的Q值。

本发明实施例提供了一种声表面波谐振器，包括：

压电基板；

插指换能结构，位于所述压电基板的一侧；所述插指换能结构包括相对设置的两个汇流条，以及并排设置在两个汇流条之间的多个电极指；每个电极指交替电连接到所述汇流条中的一个汇流条；

多个假指，每一假指对应位于一所述电极指末端与对侧的汇流条之间；沿平行于汇流条的方向，所述假指的宽度等于所述电极条的宽度；

第一声速突变结构，所述第一声速突变结构位于所述假指远离所述压电基板的一侧、所述假指靠近所述压电基板的一侧和所述假指所在层中的至少一处；沿平行于汇流条的方向，所述第一声速突变结构的宽度大于所述假指的宽度。

可选的，所述第一声速突变结构包括多个负载块，每一负载块对应位于一假指的末端；位于同一排假指末端的负载块到对侧电极指末端的距离相等。

可选的，所述第一声速突变结构包括多个负载块；每一负载块在压电基板的垂直投影对应与一假指在压电基板的垂直投影部分重叠；位于同一排假指末端的负载块到对侧电极指末端的距离递增或递减。

可选的，所述第一声速突变结构包括多个负载块；每一负载块在压电基板的垂直投影对应与一假指在压电基板的垂直投影部分重叠；位于同一排假指末端的负载块到对侧电极指末端的距离交替相等。

可选的，沿平行于汇流条的方向，每一负载块的宽度小于或等于位于其两侧相邻的两个电极指之间的宽度。

可选的，所述第一声速突变结构包括两个负载条，两个负载条相对设置，并均与所述汇流条平行；沿平行于所述汇流条的方向，所述负载条的宽度大于或等于所述汇流条的宽度。