[发明专利]用于回收气体组分的尾气处理装置

说明书

本发明用于回收气体组分的尾气处理装置，包括中和反应装置和逆反应装置，中和反应装置与逆反应装置相互连通，中和反应装置与逆反应装置分别通过管路与风机连接。本发明用于回收气体组分的尾气处理装置提高了尾气处理效率，避免未处理的尾气对环境造成污染，减少了中和溶液的使用量，并且可以回收昂贵气体组分，减少资源浪费。

技术领域

本发明属于尾气处理技术领域，涉及一种用于回收气体组分的尾气处理装置。

背景技术

在有代表性的CVD反应中使用有毒气体，如：H₂Se,H₂S,SiHCl₂等，通常会产生10％-15％的未反应气体而向外排放，这些有毒气体必须经过尾气处理装置处理后方可向外排放。

现有技术中尾气处理装置对于长时间连续运行会降低中和液的浓度，在运行过程中需要不断补充中和液，且需要安装有有毒气体泄漏安全装置，若从一开始，通过增加洗涤槽的尺寸，提前充入足够的中和液，在本次运行结束之前不能够填装中和液。工作完成后，中和液浓度降低，使中和液更容易结晶，容易引起泵故障，此时需要重新灌装新的中和液。排出使用后的中和液由第三方废物处理公司处理。

如上所述，现有的尾气处理装置在长期持续运行过程中，必须持续给洗涤槽补充中和液，或者从一开始就必须配置大容量的洗涤槽。使用后的中和液要向第三方处理机构支付费用进行处理，此时使用后的中和溶液仍然是强碱的，可能会产生环境污染的隐患。同时，每次工序都要填入新准备的中和溶液，因此再投入中和溶液的费用也会持续存在。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于回收气体组分的尾气处理装置，具有在尾气处理过程中减缓中和液浓度降低的特点。

本发明所采用的技术方案是，用于回收气体组分的尾气处理装置，包括中和反应装置和逆反应装置，中和反应装置与逆反应装置通过输入管路和输出管路相互连通，中和反应装置与逆反应装置分别通过排气管与风机连接。

本发明的特点还在于：

中和反应装置包括反应罐，反应罐顶部固接有尾气喷淋塔，尾气喷淋塔与反应罐连通，尾气喷淋塔顶部通过排气管与风机连接；

反应罐顶部还连通有尾气真空发生器，尾气真空发生器还连接有尾气管路，尾气管路上设置有尾气阀门。

逆反应装置包括逆反应罐，逆反应罐顶部固接有空气喷淋塔，空气喷淋塔与述逆反应罐连通，空气喷淋塔顶部通过排气管与风机连接；

逆反应罐顶部还连通有空气真空发生器，空气真空发生器还连接有空气管路，空气管路上设置有空气阀门。

输入管路与输出管路分别为Y型管路。

输出管路的第一端口与反应罐靠近底部的位置连接，靠近输出管路的第一端口处安装有输出泵；输出管路的第二端口与空气喷淋塔靠近顶部的位置连接；输出管路第三端口与空气真空发生器连接。

空气喷淋塔内安装有喷淋装置，喷淋装置与输出管路的第二端口连接。

输入管路的第一端口与逆反应罐靠近底部的位置连接，靠近输入管路的第一端口处安装有输入泵；输入管路的第二端口与尾气喷淋塔靠近顶部的位置连接；输入管路的第三端口与尾气真空发生器连接。

尾气喷淋塔内安装有喷淋器，喷淋器与输入管路的第二端口连接。

逆反应罐内与空气喷淋塔和空气真空发生器之间相对应的位置设置有滤网。本发明的有益效果是：

提高了尾气处理效率，避免未处理的尾气对环境造成污染，减少了中和溶液的使用量，并且可以回收昂贵气体组分，减少资源浪费。

附图说明

图1是本发明用于回收气体组分的尾气处理装置的结构示意图；