[发明专利]一种柱状靶材外螺纹加工设备及工作方法

说明书

本发明公开了一种柱状靶材外螺纹加工设备及工作方法，包括加工载台、夹紧机构、转动驱动机构和车削加工机构；加工载台的长度方向一侧设置有第一横向驱动组件；转动驱动机构包括动力组件和推动堵头，动力组件连接设置在第一横向驱动组件上，夹紧机构包括架设在第一横向驱动组件上方并适时将柱状靶材夹紧的第一夹紧旋转器和设置在加工载台长度方向另一侧并适时将柱状靶材夹紧的第二夹紧旋转器；车削加工机构包括第二横向驱动组件、纵向驱动组件和车削组件，车削组件连接设置在纵向驱动组件上，本发明能在柱状靶材的外表面上稳定加工出外螺纹，且操作工序较为简单，加工出的螺纹质量较高，具有较高的使用价值。

技术领域

本发明涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种柱状靶材外螺纹加工设备及工作方法。

背景技术

溅射技术是半导体制造领域的常用工艺之一，随着溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用。

传统的靶材在与衬管固定时通常采用焊接的方式实现，这样的固定方式成本相对较高，且在焊接过程中还会造成材料污染，为了改善上述问题，所以如今就出现了用螺纹固定的方式代替焊接的方式。

但现有中的靶材螺纹加工设备工序较为繁琐，且加工出来的螺纹质量达不到预期要求，加工成本也相对较高，为了解决该问题，所以本发明公开了一种柱状靶材外螺纹加工设备及工作方法。

发明内容

发明目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本发明公开了一种柱状靶材外螺纹加工设备及工作方法。

技术方案：一种柱状靶材外螺纹加工设备，包括加工载台、夹紧机构、转动驱动机构和车削加工机构；

所述加工载台的长度方向一侧设置有第一横向驱动组件；

所述转动驱动机构包括动力组件和推动堵头，所述动力组件连接设置在第一横向驱动组件上，且所述推动堵头与动力组件的输出端连接；

所述夹紧机构包括架设在第一横向驱动组件上方并适时将柱状靶材夹紧的第一夹紧旋转器和设置在加工载台长度方向另一侧并适时将柱状靶材夹紧的第二夹紧旋转器；

所述车削加工机构包括第二横向驱动组件、纵向驱动组件和车削组件，所述第二横向驱动组件设置在第一横向驱动组件的后部，所述纵向驱动组件连接设置在第二横向驱动组件上，所述车削组件连接设置在纵向驱动组件上。

进一步的是，所述第一横向驱动组件、第二横向驱动组件和纵向驱动组件均为直线驱动模组。

进一步的是，所述动力组件包括伺服电机和联轴器，所述伺服电机连接设置在第一横向驱动组件上，且所述联轴器与伺服电机的输出轴连接，所述推动堵头通过转轴与联轴器连接。

进一步的是，所述第一夹紧旋转器和第二夹紧旋转器均为可供柱状靶材穿过的气动夹紧旋转卡盘。

进一步的是，所述车削组件包括刀座和安装在刀座的车削刀具，所述刀座连接设置在纵向驱动组件上。

一种柱状靶材外螺纹加工设备的工作方法，包括以下工作方法，

步骤一，将柱状靶材穿过第一夹紧旋转器并将所述推动堵头堵塞在柱状靶材的一端的内部；

步骤二，在第一横向驱动组件的驱动下，推动堵头将柱状靶材的一端从第一夹紧旋转器中推送延伸出固定长度并由第一夹紧旋转器对柱状靶材夹紧；

步骤三，转动驱动机构驱动柱状靶材旋转，并在第二横向驱动组件与纵向驱动配合下带动刀座移动以使车削刀具对柱状靶材进行螺纹车削；

步骤四，在车削组件对固定长度的柱状靶材车削好螺纹后，再进行步骤二及步骤三中的操作，直至整个柱状靶材的外表面全部车削有螺纹为止，且在推动堵头将柱状靶材从第一夹紧旋转器中完全推送出来时，第一夹紧旋转器停止对柱状靶材进行夹紧并由第二夹紧旋转器对柱状靶材进行夹紧。