[发明专利]一种可调节波长的飞秒激光系统及使用方法有效

专利信息
申请号: 202210334866.0 申请日: 2022-03-31
公开(公告)号: CN114696199B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 黄焱坤;孙敬华 申请(专利权)人: 南京漫光微电子技术有限公司
主分类号: H01S3/101 分类号: H01S3/101;H01S3/108;H01S3/109;H01S3/00;H01S3/02
代理公司: 南京鑫之航知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32410 代理人: 姚兰兰
地址: 210019 江苏省南京市建*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 调节 波长 激光 系统 使用方法
【权利要求书】:

1.一种可调节波长的飞秒激光系统,其特征在于:所述的可调节波长的飞秒激光系统包括调节透镜组、飞秒激光器(1)、波长调节机构(2)、激光振荡器(3)、光子晶体光纤(4)、光耦合装置(5)、聚焦物镜组(6),所述飞秒激光器(1)输出端面通过光耦合装置(5)与光子晶体光纤(4)连通,所述光子晶体光纤(4)另通过光耦合装置(5)与激光振荡器(3)连通,所述激光振荡器(3)另与波长调节机构(2)连通,所述波长调节机构(2)另通过调节透镜组与聚焦物镜组(6)连通,且波长调节机构(2)另通过调节透镜组与聚焦物镜组(6)光轴间同轴分布;

所述的波长调节机构(2)包括调节透镜组、光栅滤波器(21)、激光功率放大器(22)、条形受激拉曼散射晶体(23),所述条形受激拉曼散射晶体(23)至少两个,各条形受激拉曼散射晶体(23)间串联并同轴分布,相邻两个条形受激拉曼散射晶体(23)间通过光栅滤波器(21)连通,所述条形受激拉曼散射晶体(23)中,其中一个条形受激拉曼散射晶体(23)通过激光功率放大器(22)与聚焦物镜组(6)连通,另一个条形受激拉曼散射晶体(23)通过激光振荡器(3)与波长调节机构(2)中的调节透镜组连通;

所述的调节透镜组顺次包括半波片(71)、偏振控制器(72)、倍频晶体(73)、分束器(74)、衰减片(75)、二相色镜(76)及凹凸透镜组(77),其中所述半波片(71)、偏振控制器(72)、倍频晶体(73)、分束器(74)、衰减片(75)、二相色镜(76)及凹凸透镜组(77)间同轴分布,且其间距均为0—50毫米;

所述的飞秒激光器(1)、波长调节机构(2)、激光振荡器(3)、光子晶体光纤(4)、光耦合装置(5)、聚焦物镜组(6)均位于同一承载机体(8)内,所述承载机体(8)包括主承载壳(81)、辅助承载壳(82)、驱动电源(83)、调节机构(84)及驱动电路(85),所述主承载壳(81)为轴向截面呈矩形的腔体结构,所述聚焦物镜组(6)嵌于主承载壳(81)前端面并与主承载壳(81)同轴分布,所述聚焦物镜组(6)、调节透镜组、波长调节机构(2)、激光振荡器(3)、光子晶体光纤(4)及飞秒激光器(1)沿着主承载壳(81)轴线方向从前至后分布,且所述调节透镜组、波长调节机构(2)均通过调节机构(84)与主承载壳(81)内表面滑动连接,所述调节机构(84)至少两个,环绕主承载壳(81)轴线均布,所述驱动电源(83)、驱动电路(85)均嵌于辅助承载壳(82)内,且驱动电路(85)分别与驱动电源(83)、调节机构(84)、飞秒激光器(1)、波长调节机构(2)、激光振荡器(3)电气连接,此外辅助承载壳(82)另与主承载壳(81)外表面间相互连接;

所述的调节机构(84)中,与聚焦物镜组(6)连通的调节透镜组及与波长调节机构(2)的调节透镜组所连接的调节机构(84)均为与主承载壳(81)轴线平行分布的直线驱动导轨;与波长调节机构(2)的条形受激拉曼散射晶体(23)连接的调节机构(84)为环绕主承载壳(81)轴线呈螺旋结构分布的圆弧驱动导轨。

2.根据权利要求1所述的一种可调节波长的飞秒激光系统,其特征在于:所述的凹凸透镜组(77)包括至少一个凸透镜、一个凹透镜镜面和一个平面镜。

3.根据权利要求1所述的一种可调节波长的飞秒激光系统,其特征在于:所述的驱动电路(85)为基FPGA芯片及DSP芯片中任意一种为基础的电路系统。

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