[发明专利]一种组合式液体引射抽真空系统及抽真空方法

权利要求书

1.一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：包括一级液体引射抽真空设备、二级液体引射抽真空设备、电磁阀和泄压阀；所述一级液体引射抽真空设备包括引射器、集气筒、出液管、引射泵和缓流器；所述引射器安装在集气筒上端，集气筒下部储存液体；引射器包括引射出口、引射液体入口和引射气体入口，引射出口连接导液管，导液管向下延伸至集气筒内液面下侧，引射液体入口和引射泵连接，引射泵和需要抽真空的设备中液体储存的位置连接，引射气体入口和需要抽真空的设备中气体储存的位置连接；缓流器设置在集气筒内部，导液管下端插入缓流器中；集气筒的侧壁上部设置排气管，出液管一端和集气筒的底部连接，另一端和需要抽真空的设备中液体储存的位置连接；

所述二级液体引射抽真空设备包括气筒、集液筒、引射器、引射泵和止回阀；所述气筒连接在集液筒的顶端，引射器设置在集液筒的侧面；引射出口插入集液筒内部，引射液体入口和引射泵连接，引射气体入口和气筒连接，且气筒和引射气体入口之间设置止回阀；引射泵和集液筒的底部连接，集液筒下部储存液体，集液筒的侧壁上部设置排气管；

一级液体引射抽真空设备中的排气管和二级液体引射抽真空设备的气筒连接，气筒和一级液体引射抽真空设备中的排气管之间设置电磁阀；一级液体引射抽真空设备的引射气体入口和需要抽真空的设备之间设置泄压阀。

2.根据权利要求1所述的一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：所述缓流器为上端开口的容器，缓流器的下端和集气筒的底端连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：所述缓流器为两个圆筒状结构连接在一起，上侧的圆筒状结构的直径比下侧的圆筒状结构的直径大，导液管的下端设置在上侧的圆筒状结构中。

4.根据权利要求1所述的一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：所述集气筒的侧壁上安装液位计，液位计用于检测集气筒内液体的液面高度。

5.根据权利要求1所述的一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：所述二级液体引射抽真空设备中引射出口连接在集液筒的中上部，引射出口插入集液筒后向集液筒底部方向开口。

6.根据权利要求1所述的一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：所述二级液体引射抽真空设备中引射气体入口和气筒之间通过气管连接，气管上安装法兰，止回阀通过法兰安装在气管上。

7.根据权利要求1或6所述的一种组合式液体引射抽真空系统，其特征在于：所述气筒的上部设置出口气管和入口气管，出口气管和止回阀通过法兰连接，入口气管和一级液体引射抽真空设备的排气管连接；入口气管设置在出口气管的对侧，入口气管设置在出口气管的上侧。

8.如权利要求1所述的一种组合式液体引射抽真空系统的抽真空方法，其特征在于：具体步骤如下：

S1、首次抽真空时，将二级液体引射抽真空设备开启，二级液体引射抽真空设备的引射泵上电运行，将集液筒内的液体泵入引射器的引射液体入口，液体通过引射器引射至引射出口，在引射气体入口处形成负压，一级液体引射抽真空设备的集气筒内的气体被抽至气筒中，气筒中的气体依次被引射至气管、引射气体入口和引射出口，气体和引射器内引射的液体混合，进入集液筒内，气体通过集液筒的排气管排放至大气中，将一级液体引射抽真空设备的集气筒和二级液体引射抽真空设备的气筒内的气体抽出；

S2、集气筒内气体被抽出后，气压变低，液面上升，当液位计检测到集气筒内液面上升至预设的高液位时，一级液体引射抽真空设备开启，引射泵将需要抽真空的设备中的液体泵入引射液体入口，液体被引射器引射至引射出口，在引射气体入口处形成负压，需要抽真空的设备中的气体被抽至引射气体入口，气体和引射器内引射的液体混合后，从引射出口引射至导液管，再进入缓流器，引射出的液体与集气筒内液体混合，使得集气筒内液面上升，引射出的气体向上移动至集气筒的液面上侧，将需要抽真空的设备中的气体抽至集气筒中，重复步骤S1，将集气筒中的气体排放至大气中；

S3、当需要抽真空的设备的真空度达到要求时，关闭电磁阀，将二级液体引射抽真空设备的引射泵关闭，在止回阀的作用下，气筒内保持负压状态，一级液体引射抽真空设备持续运行，完成首次抽真空过程；

S4、一级液体引射抽真空装置持续将需要抽真空的设备中的气体抽至集气筒中，集气筒内压力上升，从而使得集气筒内液体的液面下降，当液位计检测到液面下降至预设的低液位时，二级液体引射抽真空设备的引射泵开启，电磁阀开启，重复步骤S1，将集气筒内气体抽出排放至大气中；集气筒内气体被抽出后，集气筒内气压变低，液面上升，当集气筒内液面上升到预设的高液位时，关闭电磁阀，二级液体引射抽真空设备的引射泵关闭，完成保持真空度过程；

S5、当需要抽真空的设备停止工作后，将电磁阀关闭，再将泄压阀打开，完成泄负压的过程。