[发明专利]一种采用音圈电机的载台系统

权利要求书

1.一种采用音圈电机的载台系统，其特征在于：载台系统包括机架(100)、侧边梁(200)、晶圆载台(300)、摩擦传动机构(400)、X轴横梁(500)、X轴驱动组(600)、Y轴驱动组(700)和消反力组件(800)；

两个侧边梁(200)相对的纵向设置在所述机架(100)上；

所述X轴横梁(500)横向的设置在两个所述侧边梁(200)之间；

所述晶圆载台(300)和摩擦传动机构(400)相对的设置在所述X轴横梁(500)两侧，且所述摩擦传动机构(400)在X轴向与所述晶圆载台(300)同步运行；

所述X轴驱动组(600)设置在X轴横梁(500)与晶圆载台(300)之间，驱动晶圆载台(300)和摩擦传动机构(400)同步的沿着所述X轴横梁(500)横向移动；

两个所述Y轴驱动组(700)设置在侧边梁(200)与晶圆载台(300)之间，驱动晶圆载台(300)和摩擦传动机构(400)同步的沿着所述Y轴驱动组(700)纵向移动；

所述消反力组件(800)采用音圈电机；所述消反力组件(800)中的两个X轴消反力组件(801)相对的设置在所述机架(100)的纵向两端，所述消反力组件(800)中的两个Y轴消反力组件(802)相对的设置在两个所述侧边梁(200)外侧，用于对所述晶圆载台(300)和摩擦传动机构(400)横向力和相对于质心扭矩的抵消。

2.根据权利要求1所述的载台系统，其特征在于：所述消反力组件(800)采用的音圈电机包括定子(1)、动子(2)、后封板(3)、两个侧封板(4)、前封板(5)和电机定子安装件(6)；

所述定子(1)呈板状，在所述定子(1)的一侧开设侧板槽(11)；所述动子(2)上下活动的与所述定子(1)匹配设置；

所述后封板(3)、两个侧封板(4)和前封板(5)侧边首尾连接构成矩形空间，以将所述定子(1)和动子(2)环绕设置；所述动子(2)的一个端面固定至所述后封板(3)和/或前封板(5)的内端面上；

其中，一个侧封板(4)在所述侧板槽(11)内设置并连接后封板(3)和前封板(5)，所述电机定子安装件(6)从所述侧封板(4)外侧连接至开设侧板槽(11)的定子(1)的上下两端；

所述后封板(3)或前封板(5)用于连接待消反力体或其底座上，所述电机定子安装件(6)连接至固定的机架上。

3.根据权利要求2所述的载台系统，其特征在于：

所述定子(1)包括定子架，所述侧板槽(11)开设在所述定子架的一侧面上；在所述定子架的前和/或后端面上开设线圈槽(12)和线圈支撑部(13)，用于容纳和支撑线圈(14)，所述线圈(14)的厚度小于等于所述线圈槽(12)的深度。

4.根据权利要求3所述的载台系统，其特征在于：在所述后封板(3)和/或前封板(5)朝向定子(1)的一侧开设动子槽(31/51)。

5.根据权利要求4所述的载台系统，其特征在于：在对应所述动子槽(31/51)内固定设置一块或多块永磁体组成所述动子(2)。

6.根据权利要求5所述的载台系统，其特征在于：其中，两个所述X轴消反力组件(801)采用的音圈电机在定子(1)的两侧均设置动子(2)；两个所述Y轴消反力组件(802)采用的音圈电机在定子(1)的一侧设置动子(2)。