[发明专利]一种接片槽、金刚线切片机及大尺寸硅棒的切割方法

权利要求书

1.一种接片槽，包括用于盛装冷却液且设置在金刚线切片机的左右两个切割主辊之间的槽本体，槽本体包括左右布置的两个槽侧壁(31)以及连接在两个槽侧壁(31)之间的槽底壁(32)，其特征在于，槽本体内于左右两个槽侧壁(31)上分别固定有侧壁超声震板，槽本体内于所述的槽底壁(32)上固定有底壁超声震板(35)。

2.根据权利要求1所述的接片槽，其特征在于，两个槽侧壁(31)上的侧壁超声震板均沿上下方向间隔设置有两块，上方的侧壁超声震板的频率大于下方的侧壁超声震板的频率，上方的侧壁超声震板的超声强度小于下方的侧壁超声震板的超声强度。

3.根据权利要求2所述的接片槽，其特征在于，上方的侧壁超声震板的频率取值范围为[3，5]MHz，下方的侧壁超声震板的频率取值范围为[1，3)MHz；上方的侧壁超声震板的超声强度取值范围为[1，2]W/cm²，下方的侧壁超声震板的超声强度取值范围为(2，3]W/cm²。

4.根据权利要求2或3所述的接片槽，其特征在于，下方的侧壁超声震板与底壁超声震板(35)的频率和超声强度均相同。

5.根据权利要求2或3所述的接片槽，其特征在于，上下两块侧壁超声震板在上下方向上的宽度均为100mm，且上下两块侧壁超声震板之间的间距为10mm。

6.根据权利要求1所述的接片槽，其特征在于，侧壁超声震板的频率大于底壁超声震板(35)的频率，侧壁超声震板的超声强度小于底壁超声震板(35)的超声强度。

7.根据权利要求1～3中任意一项所述的接片槽，其特征在于，槽本体的四周顶端分别设置有加高板(36)，加高板(36)为塑料板，左右两侧的加高板(36)用于与切割过程中的金刚线(16)接触。

8.一种金刚线切片机，包括左右两个切割主辊，其特征在于，金刚线切片机还包括权利要求1～7中任意一项所述的接片槽。

9.一种大尺寸硅棒的切割方法，包括在左右两个切割主辊之间设置接片槽，其特征在于，通过在接片槽(3)的槽本体的左右两个槽侧壁(31)上分别固定侧壁超声震板，提高接片槽(3)中冷却液的渗透能力，及时去除切割通道中的硅粉；同时，通过在槽本体的槽底壁(32)上固定底壁超声震板(35)，对底部冷却液起到搅拌作用，使切割后的硅粉均匀地分散在冷却液中。

10.根据权利要求9所述的大尺寸硅棒的切割方法，其特征在于，通过在槽本体的四周顶端分别设置加高板(36)，提高槽本体内冷却液的液面高度，使金刚线(16)和切割通道置于液面以下进行切割；同时采用塑料板作为加高板(36)，使左右两侧的加高板(36)与切割过程中的金刚线(16)接触，限制金刚线(16)在进刀阶段的左右摆动，并及时刮掉金刚线(16)上粘附的硅粉。