[发明专利]基于不同时域双激光光束LIBS光谱谱线增强系统

权利要求书

1.基于不同时域双激光光束LIBS光谱谱线增强系统，其特征在于该系统的两个脉冲激光器由延时器调控，使得飞秒脉冲激光器比纳秒脉冲激光器触发时间延后100-200μs的时间间隔，并且光路由特制的真空样品室限制，该装置包括纳秒脉冲激光器、皮秒分辨率时序控制器、多级宽光谱采集光谱仪、特制的真空样品室、光纤光学收集组件、反射镜、聚焦透镜，样品室内含有三维移动平台。

2.根据权利要求1所述的三维移动平台，其特征在于三个维度的位移控制精度为1μm，量程为10mm。与光学距离传感器形成闭环连接，可以实现样品的自动对焦及对样品多点采样检测。

3.根据权利要求1所述的基于不同时域双激光光束LIBS光谱谱线增强系统，其特征在于：所述特制的真空样品室主体为一直径250mm，高400mm的圆柱形合金空腔，可由中间打开或密封，上表面沿直径等距分布三个端口，依次为纳秒激光入射窗口、飞秒激光入射窗口、光谱收集耦合窗口。

4.根据权利要求2所述的特制的真空样品室，其特征在于：所述的纳米激光入射窗口、光谱收集耦合口的相对夹角分别为135°和45°；纳秒激光入射口外有一熔融石英材质的激光聚焦透镜。

5.根据权利要求2所述的特制的真空样品室，其特征在于：所述样品室底部侧壁具有出气口，连接气体压力表及真空泵，可在密封条件下保持样品室内为10mtoor。

6.根据权利要求1所述的纳秒脉冲激光器为脉宽3-5ns Nd:YAG脉冲激光器，输出波长为1064nm，光斑直径6mm，最大能量200mJ@1064nm。飞秒激光器为重复频率40MHz，脉宽为160fs，输出波长为1064nm，最大能量20W@1064nm。

7.根据权利要求1所述的延时器，分辨率为5ps，通道之间的抖动小于50ps。

8.根据权利要求1所述的多级宽光谱采集光谱仪为，光谱仪分辨率为0.1nm。