[发明专利]一种多光束平行激光生成装置、平行准直调节装置及方法

权利要求书

1.一种激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，包含光源和准直装置，还包括第一分束镜、第二分束镜、平移台和猫眼结构；

所述猫眼结构为平行的凸透镜和第一反射镜的组合；

所述光源、准直装置、第一分束镜、第二分束镜和猫眼结构在同一光轴；

所述第一分束镜的镜面与光轴的夹角＞0°，＜180°且≠90°；

第二分束镜的镜面与光轴垂直，激光从光源出发，经过准直装置，通过第一分束镜和第二分束镜进入猫眼结构；

所述平移台为两个，分别安装在准直装置和凸透镜上，用于微调位置。

2.根据权利要求1所述激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，所述第一分束镜和第二分束镜的分束比为50:50。

3.根据权利要求1所述激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，还包含光阑；所述光阑位于准直装置和中空屋脊棱镜反射镜之间，所述光阑的内孔限制成像光束大小。

4.根据权利要求1所述激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，还包含对准装置；

所述对准装置包括对准盘和光学透镜套筒；

两个对准盘安装在光学透镜套筒两侧，且两个对准盘的透光孔均出于入射光和出射光的光轴上；所述对准盘表面磨砂处理；所述对准盘的透光孔为圆形。

5.根据权利要求1所述激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，所述准直装置为准直透镜；所述准直透镜为平凸透镜且平面面对光源；光源位于准直透镜的焦点。

6.根据权利要求1所述激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，所述平移台上有测微头。

7.一种调节激光平行及准直的方法，使用如权利要求1～6任一所述激光多光束平行准直调节装置，其特征在于，包含以下步骤：

打开光源，接收第一分束镜反射的来自第二分束镜的光束；

对光束进行干涉实验，观察干涉结果，若干涉条纹为圆形，则激光的平行度和准直度符合标准；

若干涉条纹不是圆形，则微调准直装置，直到干涉条纹变为圆形。

8.一种多光束平行激光生成装置，其特征在于，包含光源和猫眼结构；

所述猫眼结构包含平行的凸透镜和第一反射镜，且第一反射镜位于凸透镜的焦点；

还包含中空屋脊棱镜反射镜；

所述凸透镜与中空屋脊棱镜反射镜相对，且凸透镜的中轴面与中空屋脊棱镜反射面呈45°夹角，凸透镜的中心点与中空屋脊棱镜反射镜两个反射面的交界线不正对；

光源发射的激光与中空屋脊棱镜反射镜反射面呈45°角入射，激光经过中空屋脊棱镜反射镜反射平行光射入猫眼结构，经猫眼结构反射再入射中空屋脊棱镜反射镜，形成多次反射。

9.根据权利要求8所述一种多光束平行激光生成装置，其特征在于，凸透镜中心沿光轴方向的投影点，与激光入射点分别在中空屋脊棱镜反射镜两个反射面上。

10.根据权利要求9所述多光束平行激光生成装置，其特征在于，还包含第二反射镜；所述第二反射镜位于凸透镜和中空屋脊棱镜反射镜之间，且第二反射镜平面与光源光轴的夹角＞0°，＜180°且≠90°。