[发明专利]一种冷阱装置

说明书

本发明公开了一种冷阱装置，涉及冷阱技术领域，包括：冷阱腔体、冷阱盖、制冷模块、导热缓冲件、加热模块、被制冷加热主体、密封装置、第一密封圈以及第二密封圈。本发明中所述冷阱腔体与所述制冷模块之间通过所述密封装置密封；将所述导热缓冲件的两端与所述冷阱腔体之间分别通过所述第一密封圈进行密封；将所述冷阱腔体与所述冷阱盖之间通过所述第二密封圈进行密封，最终各部件与所述冷阱腔体之间实现高度密封，且通过所述加热模块设置在所述导热缓冲件内而不会因加热模块在加热时的加热温度过高对制冷模块中的器件造成损害。

技术领域

本发明涉及冷阱技术领域，尤其涉及一种冷阱装置。

背景技术

现有超低温冷阱腔体密封性较差，且加热模块在加热时因加热温度过高易对制冷模块中的器件造成损害；

被制冷对象（石英玻璃捕集阱、石英玻璃除水阱等）降温速率较慢；

同时被加热对象（石英玻璃捕集阱、石英玻璃除水阱等）升温速率较慢，且温度均一性、稳定性较差。

发明内容

本发明提供了一种冷阱装置，以解决现有技术中超低温冷阱腔体密封性较差，且加热模块在加热时因加热温度过高易对制冷模块中的器件造成损害的问题。

本发明提供了一种冷阱装置，包括：冷阱腔体、冷阱盖、制冷模块、导热缓冲件、加热模块、被制冷加热主体、密封装置、第一密封圈以及第二密封圈；所述冷阱腔体的两侧分别设有第一开口和第二开口，所述制冷模块通过所述冷阱腔体的所述第一开口进入所述冷阱腔体内与所述导热缓冲件连接，所述冷阱腔体与所述制冷模块之间通过所述密封装置密封；所述加热模块以及所述被制冷加热主体均设置在所述导热缓冲件内；所述被制冷加热主体贯穿设置在所述冷阱腔体上，所述导热缓冲件的两端与所述冷阱腔体连接，且所述导热缓冲件的两端与所述冷阱腔体之间分别通过所述第一密封圈进行密封；所述冷阱盖通过所述冷阱腔体的所述第二开口与所述冷阱腔体连接，且所述冷阱腔体与所述冷阱盖之间通过所述第二密封圈进行密封。

可选地，所述冷阱装置还包括导热模块；所述导热模块设置在所述冷阱腔体内，所述导热模块与所述制冷模块连接，所述导热模块与所述导热缓冲件连接。

可选地，所述制冷模块包括制冷机以及冷头翅片；所述导热模块包括导热块；所述制冷机与所述冷头翅片连接；所述冷头翅片与所述导热块连接；所述导热块与所述导热缓冲件连接。

可选地，所述导热模块还包括弹簧压片；所述导热缓冲件设置在所述弹簧压片以及所述导热块之间，所述弹簧压片与所述导热块连接。

可选地，所述导热模块还包括导热硅脂；所述导热硅脂设置在所述导热块与所述冷头翅片之间。

可选地，所述加热模块包括加热丝以及温度传感器；所述加热丝间隔环绕设置在所述被制冷加热主体的外侧；所述温度传感器以及所述加热丝均设置在所述导热缓冲件内。

可选地，所述加热模块还包括第一绝缘胶布以及第二绝缘胶布；所述第一绝缘胶布包裹在所述温度传感器外侧，且与所述加热丝连接；所述第二绝缘胶布设置在所述加热丝与所述导热缓冲件之间，且分别与所述加热丝以及所述导热缓冲件连接。

可选地，所述密封装置包括安装法兰、第三密封圈、第四密封圈以及快装卡箍；所述制冷机与所述安装法兰连接；所述安装法兰与所述冷阱腔体连接；所述快装卡箍分别与所述安装法兰以及所述冷阱腔体连接；所述冷阱腔体与所述安装法兰之间通过所述第三密封圈密封；所述制冷机与所述安装法兰之间通过所述第四密封圈密封。

可选地，所述冷阱装置还包括导热缓冲件压环；所述导热缓冲件压环分别与所述导热缓冲件以及所述冷阱腔体连接。

可选地，所述冷阱装置还包括真空泵接头；所述真空泵接头设置在所述冷阱盖上。

本发明中提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：