[发明专利]一种晶舟盒内晶圆位置检测装置

说明书

本发明涉及一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，包括处理单元和输送带，所述输送带上依次设置有合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应合盖位设置有合盖机械臂，所述输送带上方对应后拍照位设置有后拍照机械臂；所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；通过后拍照机组对盖上盒盖的盒体进行拍照，分辨晶舟盒的盒盖是否盖好、晶舟盒内的晶圆的位置是否正确，若一旦有位置错误，则报警提醒人工介入处理，防止晶圆由于位置错位而导致的后续运输过程中出现晶圆破裂等问题。

技术领域

本发明属于晶圆在晶舟盒内的位置检测技术领域，具体涉及一种晶舟盒内晶圆位置检测装置。

背景技术

在半导体大规模集成电路后端测试过程中，需要对大量无图形晶圆进行检测或缺陷复检，在不同工艺站点之间转移晶圆的过程中，通常会将同种类型的多个晶圆放在晶舟盒中进行转移。晶舟盒包括盒体和与之配套的盒盖，在晶圆检测完成后，需要将晶舟盒的盒体盖上盒盖之后入库存放。目前晶圆测试完成后盖盒盖的动作由人员手动完成，即由人员手拿晶舟盒的盒盖盖在盒体上，由于人员操作的不准确性，在盖盒盖的过程中极易发生晶圆在晶舟盒内位置错位；若晶圆错位，在后续的运输过程中会造成晶圆在晶舟盒内移动，从而导致晶圆出现破片等风险。目前人工盖完盒盖后，虽然也会进行目视检查，但由于需要透过晶舟盒检查晶圆位置，人员很难在第一时间发现错位后的晶圆，目视检查难度较大，且人工盖盒盖的效率有待提高。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足而提供一种通过拍照自动判断盖上盒盖的晶舟盒的盒体内的晶圆是否处于正确位置的晶舟盒内晶圆位置检测装置。

本发明的技术方案如下：

一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，包括处理单元和输送带，所述输送带上依次设置有合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应合盖位设置有合盖机械臂，所述输送带上方对应后拍照位设置有后拍照机械臂；

所述合盖机械臂包括可上下伸缩的第二伸缩架和设置在第二伸缩架上的盖转移手、盖拧紧手，所述盖转移手用于拿取盒盖并盖在处于合盖位的晶舟盒的盒体上，所述盖拧紧手用于拧动盒盖上的旋钮，将盒盖固定在盒体上；

所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；

所述处理单元用于处理来自所述后拍照机组的图像信息，所述处理单元比较晶圆顶部与盒盖内槽的契合度，若晶圆与盒盖内槽的契合度不满足预设条件，则发出第二报警信号。

进一步的，晶圆顶部与盒盖内槽的契合度的比较步骤包括：

识别盒盖内槽的位置；

识别每个盒盖内槽中是否有晶圆；

若第N个盒盖内槽中无晶圆，表明第N个晶圆斜放，发出第二报警信号，同时输出显示异常的照片。

进一步的，所述第二伸缩架包括第四伸缩臂和转动连接在所述第四伸缩臂下端的转动臂，所述盖转移手、盖拧紧手安装在所述转动臂上。

进一步的，所述输送带上设置有位于合盖位前方的前拍照位，所述输送带的上方对应前拍照位设置有前拍照机械臂；

所述前拍照机械臂包括可上下伸缩的第一伸缩架和设置在第一伸缩架上的前拍照机组，所述前拍照机组包括用于对达到前拍照位的晶舟盒进行前后左右四个方向拍照的四个相机；

所述处理单元用于处理来自所述前拍照机组的图像信息，所述处理单元比较晶圆左右两侧与盒体卡槽的契合度，若盒体卡槽与晶圆的契合度不满足预设条件，则发出第一报警信号。

进一步的，晶圆左右两侧与盒体卡槽契合度的比较步骤包括：