[发明专利]一种步进式比相方法、装置、设备及存储介质

权利要求书

1.一种步进式比相方法，其特征在于，包括：

获取干涉仪系统的测量道信号和参考道信号；

对参考道信号进行预设幅度的延迟，得到第二参考信号；

分别将测量道信号与参考道信号、测量道信号与第二参考信号进行相关运算，并进行滤波处理得到两相关信号；

将两相关信号逐点相除并做反正切计算得到相位曲线，去除基线后即可解算出密度相位。

2.根据权利要求1所述的一种步进式比相方法，其特征在于，在获取干涉仪系统的测量道信号和参考道信号步骤之后还包括：

对获取的测量道信号和参考道信号进行滤波处理，具体采用带通滤波器以滤除噪声信号，所述带通滤波器的通带中心频率为调制频率。

3.根据权利要求1所述的一种步进式比相方法，其特征在于，分别将测量道信号与参考道信号、测量道信号与第二参考信号进行相关运算，具体为：

将测量道信号与参考道信号进行逐点相乘得到第一相关信号；

将测量道信号与第二参考信号进行逐点相乘得到第二相关信号。

4.根据权利要求3所述的一种步进式比相方法，其特征在于，进行滤波处理得到两相关信号，具体为：

通过数字滤波或平滑处理滤除逐点相乘后的第一相关信号和第二相关信号中角频率高于调制频率的成分，即可得到两相关信号。

5.根据权利要求4所述的一种步进式比相方法，其特征在于，所述平滑处理具体采用n点平滑处理，n取一个调制周期的采样点数量。

6.根据权利要求1所述的一种步进式比相方法，其特征在于，将两相关信号逐点相除并做反正切计算得到相位曲线，具体为：

将两相关信号逐点相除并进行反正切运算，得到原始相位曲线；

根据测量道信号与参考道信号的相关信号，所述原始相位曲线进行象限修正；

对经象限修正后的曲线进行条纹修正，即可得到完整的相位曲线。

7.根据权利要求6所述的一种步进式比相方法，其特征在于，所述象限修正具体为将提取的相位差取值范围从(-π/2，+π/2)扩充到(-3π/2，+π/2)，即一整个条纹的区间内。

8.一种步进式比相装置，其特征在于，包括：

信号获取模块，用于获取干涉仪系统的测量道信号和参考道信号；

延迟模块，用于对所述参考道信号进行预设幅度的延迟，得到第二参考信号；

相关运算模块，分别将测量道信号与参考道信号、测量道信号与第二参考信号进行相关运算，并进行滤波处理得到两相关信号；

解算模块，用于将两相关信号逐点相除并做反正切计算得到相位曲线，去除基线后即可解算出密度相位。

9.一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1-7中任一项所述方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-7中任一项所述方法的步骤。