[发明专利]非球面薄膜溅镀系统

权利要求书

1.一种非球面薄膜溅镀系统，包括：

真空腔体；

靶材，位于所述真空腔体中，并电性连接溅镀电源，所述溅镀电源用以于所述真空腔体中形成电浆，并用电浆溅镀所述靶材，从而形成溅镀粒子；以及

多轴式自动驱动装置，其上设有至少一个待溅镀物，所述多轴式自动驱动装置与所述至少一个待溅镀物位于所述真空腔体中，所述至少一个待溅镀物具有朝向所述靶材的非球面，所述非球面具有待溅镀点，所述待溅镀点的切线与直线段互相垂直，所述直线段连接于所述待溅镀点与所述靶材之间，所述多轴式自动驱动装置用以根据所述待溅镀点对应的非球面方程式，在固定所述直线段的长度的前提下移动所述至少一个待溅镀物，以利用所述溅镀粒子于所述非球面上形成均匀薄膜，所述非球面的中间区域为球面，所述非球面的高度变化对应一平面坐标系，所述平面坐标系由互相垂直的第一坐标轴与第二坐标轴形成，所述第一坐标轴平行所述至少一个待溅镀物未转动时中间区域的顶点的切线，非球面方程式表示如下：

其中n为正整数，A_2n为第n个非球面系数，R为所述中间区域的曲率半径，K为锥形常数(conic constant)，y与Z为所述至少一个待溅镀物未转动时，所述非球面上的每一点分别对应于所述第一坐标轴与所述第二坐标轴的坐标值；所述多轴式自动驱动装置以垂直所述第二坐标轴的第一直线为轴，并以θ角旋转所述至少一个待溅镀物时，所述待溅镀点对应于所述第一坐标轴与所述第二坐标轴的坐标值分别为y*与Z*，且Z*＝Z(y*)rot(θ)，/且所述多轴式自动驱动装置减少或增加Z*，以固定所述直线段的长度。

2.如权利要求1所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：所述多轴式自动驱动装置包括：

升降机构，用以沿第二直线垂直移动，所述第二直线垂直所述第一直线；以及

旋转机构，设于所述升降机构上，所述至少一个待溅镀物设于所述旋转机构上，所述升降机构用以通过所述旋转机构固定所述直线段的长度，所述旋转机构用以以所述第一直线为轴，旋转所述至少一个待溅镀物。

3.如权利要求2所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：所述多轴式自动驱动装置还包括：

基座，其上设有两个平移轨道；以及

平移机构，设于所述平移轨道上，所述升降机构设于所述平移机构上，所述平移机构用以在所述平移轨道上沿第三直线水平移动，该第三直线垂直所述第二直线，所述平移机构用以通过所述升降机构与所述旋转机构将所述待溅镀点对准所述靶材。

4.如权利要求3所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：所述旋转机构包括：

第一子旋转机构，设于所述升降机构上；以及

第二子旋转机构，设于所述第一子旋转机构上，所述至少一个待溅镀物设于所述第二子旋转机构上，所述第一子旋转机构用以以所述第一直线或第四直线为轴，通过所述第二子旋转机构旋转所述至少一个待溅镀物，该第四直线平行所述第二直线，所述第二子旋转机构用以以第五直线为轴，旋转所述至少一个待溅镀物，所述第五直线垂直所述第一直线。

5.如权利要求1所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：还包括控制处理装置，其电性连接所述多轴式自动驱动装置与所述溅镀电源，在所述控制处理装置接收所述待溅镀点的分别对应于所述第一坐标轴与所述第二坐标轴的坐标值y*与Z*及所述至少一个待溅镀物的旋转角度θ，并判断Z*＝Z(y*)rot(θ)，且时，所述控制处理装置控制所述多轴式自动驱动装置以所述第一直线为轴，以θ角旋转所述至少一个待溅镀物，并减少或增加Z*，以固定所述直线段的长度，且所述控制处理装置控制所述溅镀电源形成电浆，并藉此溅镀所述靶材于所述待溅镀点形成薄膜。