[发明专利]一种高温氯气加热的方法在审

专利信息
申请号: 202210230882.5 申请日: 2022-03-09
公开(公告)号: CN114776926A 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 钟升勇;段开勇;杨强强;李彦明;练成龙 申请(专利权)人: 青海丽豪半导体材料有限公司
主分类号: F16L53/34 分类号: F16L53/34;H05B3/20;H05B3/14;H05B3/03
代理公司: 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 代理人: 张艳花
地址: 810100 青海省西宁市城中区*** 国省代码: 青海;63
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摘要:
搜索关键词: 一种 高温 氯气 加热 方法
【说明书】:

发明公开了一种高温氯气加热的方法,涉及氯气加热技术领域,本发明包括如下步骤:S1、准备加热材料:制作加热材料,若干组电极棒与非金属加热体组合,若干组电极棒呈圆周阵列等距连接在非金属加热体上;S2、组装加热装置:准备加热管道,将加热材料安装在加热管道的管壁内部;S3、通入氯气:将待加热的氯气从加热管道进口导入至加热管道内部并密封;S4、进行加热:开启加热材料,利用加热材料产生的热量加热经过加热管道,达到指定加热温度,加热氯气;S5、输出氯气;加热后的气体通过出口输出,能够较好地将非金属加热体提高到1000℃以上的高温,使氯气反应更充分。

技术领域

本发明涉及氯气加热技术领域,特别涉及一种高温氯气加热的方法。

背景技术

氯气,是一种气体单质,常温常压下为黄绿色,有强烈刺激性气味的剧毒气体,具有窒息性,密度比空气大。可溶于水和碱溶液,易溶于有机溶剂(如四氯化碳),难溶于饱和食盐水。易压缩,可液化为黄绿色的油状液氯,是氯碱工业的主要产品之一,可用作为强氧化剂。

多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,为了提高原料利用率和环境友好,在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCl反应,加工成SiHCl3,再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅,生产多晶硅需要使用高温氯气,所以,氯气需要加热到很高的时候才能反应充分。

在公开号“CN113566044A”公开的“一种获取连续高温氯气的加热方法”,包括如下步骤:1)向石墨管道中连续通入惰性气体,并利用感应加热器将石墨管道加热至800~1750℃;2)将连续通入石墨管道中的气体切换成氯气或混合气体,所述混合气体由氯气和惰性气体组成;3)利用感应加热器持续加热石墨管道,并调节感应加热器的输出功率,石墨管道连续输出700~1600°C的高温氯气或高温混合气体。本发明中,有效利用在700~1600℃下,氯气和石墨不反应以及石墨管道导热好的特性对氯气进行加热,通过调节气体流速和加热温度,从而获得温度和浓度可调的连续高温氯气;通入沸腾氯化炉后可提升分布板区附近的气速,从而提升流化质量,取得沸腾氯化炉可长周期、高效率稳定运行的效果。

上述发明的高温氯气加热方法,在进行加热的过程中,目前碳钢对干氯气的最高温度只能达到200℃;Inconel合金材质也只能达到300℃左右不能继续对氯气升高问题,氯气反应不充分,为此,我们提出了一种高温氯气加热的方法。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种高温氯气加热的方法,可以有效解决背景技术中在进行加热的过程中,目前碳钢对干氯气的最高温度只能达到200℃;Inconel合金材质也只能达到300℃左右不能继续对氯气升高问题,氯气反应不充分的问题。

为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:

一种高温氯气加热的方法,包括如下步骤:

S1、组装加热材料:

制作加热系统,若干组电极棒与非金属发热体组合,若干组电极棒呈圆周阵列等距连接在非金属发热体上,非金属发热体为圆环状结构,所述非金属发热体包括芯纱、导电包缠层、绝缘层,所述芯纱由多个玻璃纤维单丝无加捻并股而成,所述导电包缠层由导电纤维丝螺旋包缠在所述芯纱外形成,所述绝缘层由热塑性纤维纺制而成;所述绝缘层包覆在所述导电包缠层外;

S2、组装加热装置:

准备加热管道,加热管道内部设有内腔室与外腔室,所述外腔室包裹所述内腔室,将加热系统安装在所述外腔室中,形成加热层;

S3、通入氯气:

将待加热的氯气从所述加热管道进口导入至所述加热管道内部并密封;

S4、进行加热:

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