[发明专利]管理装置、管理方法、管理程序以及存储介质

权利要求书

1.一种管理装置，其对在包括多个加工参数的加工条件下按顺序加工多个对象物的加工装置进行管理，其中，具备：

取得部，其取得表示所述多个对象物各自的检查结果的检查结果数据、和表示所述多个对象物各自的加工所使用的所述加工条件的加工条件数据；

分析部，其在所述多个加工参数中选定与所述检查结果具有相关性的特定参数；以及

预测部，其基于所述特定参数的值的随时间的变化，预测所述加工装置是否未来产生异常。

2.根据权利要求1所述的管理装置，其中，

在所述特定参数的值显示增加趋势或者减少趋势的情况下，所述预测部预测为所述加工装置未来产生异常。

3.根据权利要求1或2所述的管理装置，其中，

所述加工装置具备与多个加工参数分别相关的部件，

所述预测部预测与所述特定参数相关的部件是否未来产生异常。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的管理装置，其中，

所述预测部基于所述检查结果的随时间的变化，预测所述检查结果显示异常的时期。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的管理装置，其中，

所述管理装置还具备判定部，所述判定部基于所述检查结果判定所述加工装置是否产生了突发异常。

6.根据权利要求5所述的管理装置，其中，

所述判定部基于正常加工出的对象物的检查结果设定正常范围，在由所述检查结果数据所示的检查结果偏离了所述正常范围的情况下判定为产生了所述突发异常。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的管理装置，其中，

所述管理装置还具备输出部，所述输出部输出由所述预测部得到的预测结果。

8.一种管理方法，其对在包括多个加工参数的加工条件下按顺序加工多个对象物的加工装置进行管理，其中，具备：

取得表示所述多个对象物各自的检查结果的检查结果数据、和表示所述多个对象物各自的加工所使用的所述加工条件的加工条件数据的步骤；

在所述多个加工参数中选定与所述检查结果具有相关性的特定参数的步骤；以及

基于所述特定参数的值的随时间的变化，预测所述加工装置是否未来产生异常的步骤。

9.一种管理程序，其使计算机工作以对在包括多个加工参数的加工条件下按顺序加工多个对象物的加工装置进行管理，其中，

所述管理程序用于使计算机执行：

取得表示所述多个对象物各自的检查结果的检查结果数据、和表示所述多个对象物各自的加工所使用的所述加工条件的加工条件数据的步骤；

在所述多个加工参数中选定与所述检查结果具有相关性的特定参数的步骤；以及

基于所述特定参数的值的随时间的变化，预测所述加工装置是否未来产生异常的步骤。

10.一种存储介质，其是存储有使计算机工作以对在包括多个加工参数的加工条件下按顺序加工多个对象物的加工装置进行管理的管理程序的计算机可读存储介质，其中，

所述管理程序用于使计算机执行：

取得表示所述多个对象物各自的检查结果的检查结果数据、和表示所述多个对象物各自的加工所使用的所述加工条件的加工条件数据的步骤；

在所述多个加工参数中选定与所述检查结果具有相关性的特定参数的步骤；以及

基于所述特定参数的值的随时间的变化，预测所述加工装置是否未来产生异常的步骤。