[发明专利]承载平台和加工设备

说明书

本发明的实施例提供了一种承载平台和加工设备，其中承载平台具有相对的第一侧和第二侧，包括：支撑板，包括：至少两个承板部，承板部的第一侧设有凹槽，第二侧设有真空气路，真空气路与凹槽连通，位于不同承板部上的凹槽不连通，支撑板设有第一减重槽。本发明的技术方案中，通过将承板部的数量设置为至少两个，即承板部可以是两个或者多个，考虑到工件的尺寸、质量以及其它因素，对承板部进行灵活使用，以满足不同的使用需求，同一承载平台既可以承载大尺寸的工件，又可以承载小尺寸的工件，有利于提高承载平台的适用范围，承载平台可应用于不同的加工设备中。另外，通过设置减重槽，有利于减少承载平台的质量，降低材料及驱动功率的浪费。

技术领域

本发明的实施例涉及加工设备技术领域，具体而言，涉及一种承载平台和一种加工设备。

背景技术

相关技术的激光微纳加工设备中，承载平台仅可以对一种或几种的待加工的工件进行支撑及固定，同一承载平台不能满足既可以承载大尺寸的工件，又可以承载小尺寸的工件。另外，当承载平台需要承载大尺寸的工件时，其尺寸也会很大，由于加工设备中需要对承载平台进行旋转或移动，会导致工件负载占驱动功率的比值减小，从而造成驱动功率的浪费。

发明内容

为了解决或改善上述技术问题至少之一，本发明的实施例的一个目的在于提供一种承载平台。

本发明的实施例的另一个目的在于提供一种具有上述承载平台的加工设备。

为实现上述目的，本发明第一方面的实施例提供了一种承载平台，用于承载工件，具有相对设置的第一侧和第二侧，承载平台包括：支撑板，包括：至少两个承板部，承板部的第一侧设有凹槽，工件能够对凹槽进行封堵，以使凹槽形成密闭空间，承板部的第二侧设有真空气路，真空气路与凹槽连通，位于不同承板部上的凹槽不连通，支撑板设有第一减重槽。

根据本发明提供的承载平台的实施例，通过将承板部的数量设置为至少两个，即承板部可以是两个或者多个，考虑到工件的尺寸、质量以及其它因素，对承板部进行灵活使用，以满足不同的使用需求，同一承载平台既可以承载大尺寸的工件，又可以承载小尺寸的工件，有利于提高承载平台的适用范围，承载平台可应用于不同的加工设备中。另外，通过设置减重槽，有利于减少承载平台的质量，降低材料以及驱动功率的浪费，提高加工设备的运动性能。

具体而言，承载平台用于承载待加工的工件，比如柔性电路板、晶圆或柔性板材等。承载平台具有相对设置的第一侧和第二侧，即承载平台的第一侧与承载平台的第二侧相对设置。承载平台包括支撑板。其中，支撑板包括至少两个承板部。承板部的第一侧设有凹槽，工件放置在承板部的第一侧，即工件与承板部的第一侧直接接触，待加工的工件能够对凹槽的开口进行封堵，从而使凹槽形成密闭空间。进一步地，承板部的第二侧设有真空气路，真空气路的一端与凹槽连通，真空气路的另一端与真空源连通。真空源能够将工件与凹槽形成的密闭空间以及真空气路内的气体抽出，凹槽内形成负压，可以理解为，密闭空间内的气压低于大气压力，从而待加工的工件能够吸附在承板部的第一侧，此处的真空源为真空发生器或真空泵等装置。换言之，工件置于承载平台上并且完全覆盖凹槽，承载平台采用真空吸附的方式，依靠负压对工件进行吸附、固定。