[发明专利]一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置

说明书

一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其中：包括取样系统、检测系统、数据库以及异常控制系统，所述取样系统包括有采样枪，通过对采样点进行采样，将取样运输至检测系统中，所述检测系统包括有多参数烟气检测装置、烟气分析仪，本发明为了解决PCB车间重要工作岗位在化学反应后的空气多参数指标检测、对同一时间样品的收集和维护，同时对环境质量进行控制等问题。

技术领域

本发明属于环境检测技术领域，具体涉及一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置。

背景技术

在半导体集成电路制造工艺中，各个工艺流程对生产车间的环境条件的要求十分严格，比如环境温度、空气湿度，空气中污染颗粒的数目，污染气体的比例等，通常半导体制造厂会对生产流程中各个车间的环境参数进行多方面的监控，并制定相对应的参数范围，一旦这些环境参数不在工艺标准规定的数值范围内，就很容易导致产品产生缺陷，影响器件的良率和可靠性。

现有技术中除了会利用传感器针对敏感参数的实时监控外，还会进行分时段在取样区进行空气取样，然后进行综合分析以进行空气环境的监控,对于这样的即时监控系统，能在一定程度上反映出半导体制造车间的实际空气环境，但同样的由于是即时取样，各种因素都会影响取样分析的结果，例如人为操作问题、气泵或取样系统的运行状态，导致在出现异常数据时无法判断数据是否准确，也很难再现出当时的取样情景。

常见的做法是数据采集通过纸质表格进行记录，待现场工作完成后再进行数据处理和分析；这些检测方法既增加了各个岗位的人员数量和工作量，又无法通过远程平台直接查看或处理收据，难以实现项目负责人对各个测试岗位和测量数据的综合判断和分析,不同检测项目由于不能够对同一时间段的采样标本进行采样而对检测外，由于检测项目或参数不同，所检测项目可能因为不同时间段的检测，结果有些许差异，导致分析误差，或者由于同一时间段的采样标本由于集体采样而在采样瓶内沉积或者附着，导致针对不同检测时的抽取样品时的含量不一致，从而对检测造成较大的误差影响，此时需要一种能解决多参数的检测装置以及同时能够在采样时同时采样同一时间内的采集样本等问题。

发明内容

本发明为了解决PCB车间重要工作岗位在化学反应后的空气多参数指标检测、对同一时间样品的收集和维护，同时对环境质量进行控制等问题。

本发明的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的:

一种用于PCB车间环境质量的控制系统及装置，其中：包括取样系统、检测系统、数据库以及异常控制系统，所述取样系统包括有采样枪，通过对采样点进行采样，将取样运输至检测系统中，所述检测系统包括有多参数烟气检测装置、烟气分析仪，用于分析所述取样系统取到的样本，并将分析结果分别传递至控制器，所述控制器通过对数据的比对确定PCB车间环境质量，当数据结果异常时，控制器将数据传递至异常控制系统，所述异常控制系统通过报警装置对取样结果不同进行不同状态的报警，最终控制器将取样数据存储入数据库。

优选的，烟气收集袋位于采样枪内部，并从所需PCB车间设备内中收集烟气，烟气收集袋由人工分别进入到多参数烟气检测装置中，所述多参数烟气检测装置包括烟气分析仪、烟气排放氧气检测仪、烟尘测试仪、温度传感器、湿度传感器，所述控制器将各检测仪的检测信息接收并呈现与工作人员。

优选的，所述烟气分析仪包括红外热像仪，所述烟气分析仪检测NO、NO₂、CO、SO₂成份含量指标。

优选的，所述烟尘测试仪通过电化学ECD技术，通过干燥箱和电子秤测得烟气颗粒物浓度。

优选的，所述温度传感器、湿度传感器分别对烟气收集袋内烟气的温度、湿度进行检测。