[发明专利]一种基于4f系统的远心扫描装置

权利要求书

1.一种基于4f系统的远心扫描装置，包括光路设置的第一反射镜(12)、第二反射镜(15)和场镜(16)，其特征在于，还包括依次沿光路设置在第一反射镜(12)和第二反射镜(15)之间的第一透镜(13)和第二透镜(14)；

所述第一反射镜(12)和第二反射镜(15)为具有不共线固定旋转轴的偏转镜；

所述第一透镜(13)和第二透镜(14)的焦距分别为f₁和f₂；

所述第一反射镜(12)、第一透镜(13)、第二透镜(14)、第二反射镜(15)在一条光轴上依次放置，间距依次为f₁、f₁+f₂和f₂；

所述场镜(16)的物方焦点位于第二反射镜(15)上。

2.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述第一透镜(13)和第二透镜(14)之间光轴上的焦点处包裹有真空腔。

3.如权利要求2所述装置，其特征在于，所述真空腔(22)的形状为圆柱形，其两端为圆形透光玻璃。

4.如权利要求2所述装置，其特征在于，所述真空腔(22)为透镜真空腔(23)，透镜真空腔(23)的形状为圆柱形，其两端为第一透镜(13)和第二透镜(14)，侧壁与第一透镜(13)和第二透镜(14)密封连接。

5.如权利要求2所述装置，其特征在于，所述真空腔内部充入一定气压的惰性气体。

6.如权利要求1-5任一所述装置，其特征在于，所述第一透镜(13)和第二透镜(14)为凸透镜或凸透镜组，所述凸透镜的透镜面型为球面或非球面。

7.如权利要求1-5任一所述装置，其特征在于，所述第一透镜(13)和第二透镜(14)为两个柱透镜或柱透镜组。

8.如权利要求1-5任一所述装置，其特征在于，所述第一反射镜(12)和第二反射镜(15)的旋转驱动方式为电流式、压电陶瓷式或电机式。

9.如权利要求1-5任一所述装置，其特征在于，所述第一反射镜(12)和第二反射镜(15)的偏转轴相互正交，且第一反射镜(12)和第二反射镜(15)为大小规格一致的反射镜，有效反射直径均为0.5mm到50mm，最大偏摆角度均为±0.001°到±25°。

10.如权利要求1-5任一所述装置，其特征在于，所述场镜(16)为球面透镜或非球面透镜或由多个球面透镜和非球面透镜组成的透镜组。