[发明专利]堆叠到集成无源装置上的体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波辅助滤波器结构，包括：

至少一个集成无源装置，包含电路；

至少一个体声波谐振器，在所述集成无源装置上方且包括：

衬底；

至少一个换能器，在所述衬底上方，所述至少一个换能器包括：

第一电极；

第二电极；以及

压电层，在所述第一电极和所述第二电极之间，且其中，所述至少一个集成无源装置的所述电路电耦合到所述体声波谐振器。

2.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述至少一个集成无源装置包括玻璃集成无源装置。

3.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述至少一个集成无源装置包括椭圆滤波器。

4.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述至少一个集成无源装置包括高通滤波器或低通滤波器中的至少一个。

5.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述集成无源装置包括串联电容器。

6.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述集成无源装置包括分路LC振荡电路。

7.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述集成无源装置包括串联电容器和分路LC振荡电路。

8.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述集成无源装置包括用于电耦合到所述至少一个体声波谐振器的导电着陆垫。

9.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述至少一个体声波谐振器包括用于电耦合到所述集成无源装置的柱。

10.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，

其中，所述集成无源装置包括导电着陆垫；

其中，所述至少一个体声波谐振器包括与所述集成无源装置的所述导电着陆垫对准且电耦合到所述导电着陆垫的柱。

11.根据权利要求1所述的体声波辅助滤波器结构，其中，所述集成无源装置被配置成接收RF信号输入，且所述至少一个体声波谐振器在所述RF信号输入的下游的两个或更多个接合部处电耦合到所述集成无源装置。

12.一种制造体声波辅助滤波器结构的方法，包括：

将至少一个体声波谐振器堆叠在所述至少一个集成无源装置上方，所述体声波谐振器包括衬底、所述衬底上方的至少一个换能器，所述至少一个换能器包括第一电极、第二电极，以及所述第一电极和所述第二电极之间的压电层；以及

将所述至少一个体声波谐振器电耦合到所述至少一个集成无源装置的所述电路。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述至少一个集成无源装置包括玻璃集成无源装置。

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述集成无源装置包括串联电容器。

15.根据权利要求12所述的方法，其中，所述集成无源装置包括分路LC振荡电路。

16.根据权利要求12所述的方法，其中，所述集成无源装置包括串联电容器和分路LC振荡电路。

17.根据权利要求12所述的方法，其中，所述集成无源装置包括用于电耦合到所述至少一个体声波谐振器的导电着陆垫。

18.根据权利要求12所述的方法，其中，所述至少一个体声波谐振器包括用于电耦合到所述集成无源装置的柱。