[发明专利]常温净化甲醛的催化膜及其制备方法与用途

权利要求书

1.一种常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述常温净化甲醛的催化膜包括：

第一膜层，形成于基材的表面，所述第一膜层的组分包括三氧化二铝；以及

第二膜层，形成于所述第一膜层上并位于所述第一膜层远离所述基材的一侧，所述第二膜层的组分包括四氧化三锰以及二氧化锰；以及

第三膜层，所述第三膜层形成于所述第二膜层上，且所述第二膜层位于所述第一膜层与所述第三膜层之间，且所述第三膜层为单金属或双金属元素的氮化物或碳化物，其中所述单金属或双金属元素选自金属元素钛、钒、铬、锰、铁、锆、铌、钼、钌。

2.如权利要求1所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第一膜层的组分还包括第一氧化物，所述第一氧化物为锂氧化物、钠氧化物、钾氧化物、铍氧化物、镁氧化物、钙氧化物、硅氧化物、镧氧化物、铈氧化物中的至少一种。

3.如权利要求2所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第一膜层中，所述三氧化二铝与所述第一氧化物的质量比为1：0.05～1：0.15。

4.如权利要求1所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第一膜层的厚度大于30nm且小于90nm。

5.如权利要求1所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第二膜层中，以所述四氧化三锰与所述二氧化锰的总质量百分比为100％计，所述四氧化三锰的质量百分比大于70％，所述二氧化锰的质量百分比小于30％。

6.如权利要求1所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第二膜层还包括第二氧化物，所述第二氧化物为锂氧化物、钠氧化物、钾氧化物、铍氧化物、镁氧化物、钙氧化物、硅氧化物、镧氧化物、铈氧化物中的至少一种。

7.如权利要求6所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第二膜层中，以所述四氧化三锰与所述二氧化锰的总质量百分比为100％计，所述四氧化三锰的质量百分比大于70％，所述二氧化锰的质量百分比小于30％，且所述四氧化三锰以及所述二氧化锰的总质量与所述第二氧化物的质量的比例为：1：0.05～1：0.3。

8.如权利要求1所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第二膜层的厚度大于2nm且小于20nm。

9.如权利要求1所述的常温净化甲醛的催化膜，其特征在于，所述第三膜层的厚度大于0.2埃且小于2nm。

10.一种催化膜的用途，其特征在于，所述催化膜为如权利要求1-9中任意一项所述的常温净化甲醛的催化膜，所述催化膜用于室温净化甲醛。

11.一种常温净化甲醛的催化膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

步骤S1，真空仓抽真空；

步骤S2，开启离子发生器，所述离子发生器的离子源电流为第一电流，通入第一通气量的氩气，吹扫基材；

步骤S3，保持离子源电流为所述第一电流，降低所述氩气的通气量为第二通气量；

步骤S4，开启电子束蒸镀器，将三氧化二铝膜料放入电子枪坩埚，通入第三通气量的氧气，蒸镀所述三氧化二铝膜料，在所述基材上形成第一膜层；

步骤S5，开启电阻蒸镀器，调整所述离子源电流为第二电流，通入第四通气量的氧气，将锰膜料放入阻蒸坩埚内，蒸镀所述锰膜料，在所述第一膜层上形成第二膜层，且所述第二膜层位于所述第一膜层远离所述基材的一侧；其中，所述第二电流小于所述第一电流，所述第四通气量大于所述第三通气量；

步骤S6，开启电子束蒸镀器，调整所述离子源电流为所述第一电流，通入第五通气量的氮气，于电子枪坩埚内放入至少一种金属膜料，蒸镀所述金属膜料，在所述第二膜层上形成第三膜层，且所述第二膜层位于所述第一膜层与所述第三膜层之间，所述金属膜料选自金属元素钛、钒、铬、锰、铁、锆、铌、钼、钌。