[发明专利]信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法

权利要求书

1.一种信息处理装置，其特征在于，包括：

取得单元，被配置成取得如下信息，该信息包括在第一定时处由被配置成执行基板处理的基板处理装置对基板进行处理的处理结果，与在第一定时之后的第二定时处在基板处理装置中发生的事件有关的事件信息，以及在第二定时之后的第三定时处由基板处理装置对基板进行处理的处理结果；

选择单元，被配置成选择在基板处理装置中发生的事件；以及

显示控制单元，被配置成基于由取得单元取得的信息执行控制以使得显示设备显示包括在第一定时处的处理结果和在第三定时处的处理结果的处理结果的按时间顺序排列的图表，

其中，显示控制单元执行控制以在图表上以叠加方式显示如下信息，该信息指示出由选择单元选择的事件的发生定时。

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，显示控制单元执行控制以不在图表上以叠加方式显示如下信息，该信息指示出没有被选择单元选择的事件的发生定时。

3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，事件信息是与使基板处理装置的各个单元初始化的复位有关的信息，与控制基板处理装置的操作的参数的改变有关的信息，与使基板处理装置执行预定操作的用户命令有关的信息，或者与其上绘制了要被转印到基板的电路图案的中间掩模的更换有关的信息。

4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，显示控制单元执行控制以在图表上以叠加方式显示指示出第二定时的线。

5.根据权利要求4所述的信息处理装置，其中，显示控制单元在显示用于不同类型的事件的线时改变线的颜色和形状中的至少一个。

6.根据权利要求1所述的信息处理装置，

其中，取得单元取得多个基板处理装置的处理的处理结果，并且

其中，显示控制单元执行控制以在不同区域中显示所述多个基板处理装置的处理结果的各个图表。

7.根据权利要求1所述的信息处理装置，

其中，取得单元取得多个基板处理装置的处理的处理结果，并且

其中，显示控制单元按配方对所述多个基板处理装置的处理结果进行分类，并且在不同区域中显示配方的处理结果的各个图表，配方是被设定成由所述多个基板处理装置共享的处理条件。

8.根据权利要求7所述的信息处理装置，其中，显示控制单元执行控制以在按配方显示在不同区域中的各个图表上以叠加方式显示指示出第二定时的信息。

9.根据权利要求1所述的信息处理装置，还包括：计算单元，

其中，取得单元取得每个基板的处理结果，并且

其中，计算单元基于由取得单元取得的每个基板的处理结果来计算包括多个基板的每个批次的处理结果。

10.根据权利要求9所述的信息处理装置，其中，计算单元基于在每个基板的处理结果的最大值、最小值、平均值、中值以及标准差值之中的单个统计值，计算包括多个基板的每个批次的处理结果。

11.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，显示控制单元执行控制以显示包括多个基板的每个批次的处理结果的按时间顺序排列的图表。

12.一种信息处理方法，其特征在于，包括：

取得如下信息，该信息包括在第一定时处由被配置成执行基板处理的基板处理装置对基板进行处理的处理结果，与在第一定时之后的第二定时处在基板处理装置中发生的事件有关的事件信息，以及在第二定时之后的第三定时处由基板处理装置对基板进行处理的处理结果；

选择在基板处理装置中发生的事件；以及

基于所取得的信息执行控制以使得显示设备显示包括在第一定时处的处理结果和在第三定时处的处理结果的处理结果的按时间顺序排列的图表，

其中，指示出所选择的与基板处理装置相关的事件的发生定时的信息被以叠加方式显示在图表上。