[发明专利]一种波长锁定系统有效
申请号: | 202210103648.6 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN114122899B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 俞浩;胡欢;王俊;廖新胜;闵大勇 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01S5/00 | 分类号: | H01S5/00;G02B27/09 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波长 锁定 系统 | ||
本发明提供一种波长锁定系统,包括:半导体发光结构;外部反馈结构;选择反射镜,位于所述半导体发光结构至所述外部反馈结构的光路中,所述选择反射镜包括偏振反射区和环绕所述偏振反射区的透射区;所述偏振反射区适于将半导体发光结构发射至所述偏振反射区的光束反射为偏振光并将所述偏振光传输至所述外部反馈结构,所述偏振反射区还适于透过所述半导体发光结构发射至所述偏振反射区的部分光束;所述透射区适于透过所述半导体发光结构发射至所述透射区的光束。所述波长锁定系统兼顾输出功率高、输出光束质量高、温漂小且可靠性高。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种波长锁定系统。
背景技术
波长锁定系统通常包括:半导体发光结构、传能光纤、外部反馈结构。外部反馈结构为体布拉格光栅,或外部反馈结构包括衍射光栅和外腔镜。其中,半导体发光结构具有电光转换效率高、结构紧凑、成本低和寿命长等优点,目前广泛被作为光泵浦源。
而现有技术中的波长锁定器件位于主光路中,当锁定光学器件为体光栅时体光栅通过大功率激光时受热严重,导致半导体发光结构的输出光束的中心波长漂移严重;锁定光学器件为衍射光栅时由于衍射光栅具有色散效应,导致输出光束质量严重恶化。现有技术中波长锁定系统无法同时兼顾输出功率高、输出光束质量好、温漂小且可靠性高。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于解决现有技术中波长锁定系统无法兼顾输出功率高、输出光束质量好、温漂小且可靠性高的问题,从而提供一种波长锁定系统。
本发明提供一种波长锁定系统,包括:半导体发光结构;外部反馈结构;选择反射镜,所述选择反射镜位于所述半导体发光结构至所述外部反馈结构的光路中,所述选择反射镜包括偏振反射区和环绕所述偏振反射区的透射区;所述偏振反射区适于将所述半导体发光结构发射至所述偏振反射区的光束反射为偏振光并将所述偏振光传输至所述外部反馈结构,所述偏振反射区还适于透过所述半导体发光结构发射至所述偏振反射区的部分光束;所述透射区适于透过所述半导体发光结构发射至所述透射区的光束。
可选的,所述偏振反射区的形状包括矩形、圆形、椭圆形、三角形或者不规则形。
可选的,所述偏振反射区具有外接圆,所述外接圆的直径小于所述半导体发光结构发射至所述选择反射镜表面的光束的直径。
可选的,所述偏振光为S偏振光;或者,所述偏振光为P偏振光。
可选的,所述偏振反射区的面积为所述透射区的面积的0.1倍~0.6倍。
可选的,所述偏振反射区的反射面具有偏振反射膜,所述偏振反射膜对S偏振光或P偏振光的反射率为90%~100%。
可选的,所述偏振反射区和所述透射区背向所述反射面的一侧表面具有增透膜,所述增透膜的透过率为98%~100%。
可选的,还包括:传能光纤,所述传能光纤具有相对的第一端面和第二端面,所述第一端面与所述半导体发光结构连接;近场成像透镜单元,所述近场成像透镜单元适于将所述第二端面的光斑成像在所述近场成像透镜单元与所述选择反射镜之间。
可选的,所述近场成像透镜单元包括第一成像透镜和第二成像透镜,所述第一成像透镜位于所述第二端面和所述第二成像透镜之间的光路中;当所述第一成像透镜的焦距小于所述第一成像透镜背离所述第二端面一侧的第二瑞利区间长度时,所述第二成像透镜的焦距大于所述第一成像透镜背离所述第二端面一侧的第二瑞利区间长度;当所述第一成像透镜的焦距大于或等于所述第一成像透镜背离所述第二端面一侧的第二瑞利区间长度时,所述第二成像透镜的焦距大于所述第一成像透镜的焦距。
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