[发明专利]使用时序控制启闭之真空阀门

说明书

本发明涉及一种使用时序控制启闭之真空阀门，包含密封板、纵向驱动缸以及横向驱动缸。在闭合操作时，第一流体系先推动纵向驱动缸之第一活塞杆由第二位置上升至第一位置，藉以允许第一流体推动横向驱动缸之第二活塞杆移向阀口，并使得密封板闭合阀口。在开启操作时，第二流体系先推动横向驱动缸之第二活塞杆朝着远离阀口之方向移动，再使得纵向驱动缸之第一活塞杆由第一位置下降至第二位置。藉此，本发明不需使用止逆阀，且不须采用面积压力比之控制方式，且纵向驱动缸之刚性强度不受第一活塞杆之升降而影响，故运作较稳定。

技术领域

本发明是有关于一种真空阀门，特别是有关于一种使用时序控制启闭之真空阀门。

背景技术

真空阀门通常应用于真空制程室中，用以选择性闭合或开启真空制程室之阀口，以便进行抽真空制程。然而，传统真空阀门须增设止逆阀做气源分配，才能控制纵向及横向的作动，且其系采用面积压力比之控制方式，因此，传统真空阀门不仅结构设计较复杂、零件较多及成本较高，而且其作动较为复杂且相对较不稳定。此外，传统的真空阀门系向外伸展驱动缸之活塞杆并使密封板贴住阀口，藉以获得所需之闭合效果，然而传统真空阀门之整体刚性强度会随着驱动缸之活塞杆向外伸展而逐渐降至最低值。由此可见，传统技术仍有待改善。

发明内容

有鉴于此，本发明之一目的就是在提供一种使用时序控制启闭之真空阀门，以解决传统技术之问题。

为达前述目的，本发明提出一种使用时序控制启闭之真空阀门包含一密封板、至少一纵向驱动缸及至少一横向驱动缸。密封板系用以往复地移动至一闭合位置或一开启位置，以闭合或开启一阀口。该纵向驱动缸系包含一第一缸体、一第一活塞板及一第一活塞杆，该第一活塞板系固接于该第一活塞杆之一中央段上，且该第一活塞板系可移动式设于该第一缸体中，藉以在该第一缸体中分别形成一第一闭合用进气室及一第一开启用进气室位于该第一活塞板之两侧。该横向驱动缸系设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆上，该横向驱动缸包含一第二缸体、一第二活塞板及一第二活塞杆，该第二活塞板系连接于该第二活塞杆之一中央段上，该第二活塞杆之顶端系连接于该密封板之内侧，且该第二活塞板系可移动式设于该第二缸体中，藉以在该第二缸体中分别形成一第二闭合用进气室及一第二开启用进气室位于该第二活塞板之两侧，其中当一第一流体被供应至该纵向驱动缸之该第一闭合用进气室时，该第一流体系推动该第一活塞板上升直至该第一活塞杆之底端上升至一第一位置，使得该第一闭合用进气室经由一闭合用进气管件连通该第二闭合用进气室以及该第一开启用进气室经由一开启用进气管件连通该第二开启用进气室，藉以令该第一流体经由该第一闭合用进气室进入该第二闭合用进气室中并经由推动该第二活塞板使得该密封板移动至该闭合位置，其中当一第二流体被供应至该纵向驱动缸之该第一开启用进气室时，该第二流体系先经由该第一开启用进气室供应至该第二开启用进气室中并推动该第二活塞板使得该密封板朝着远离该闭合位置之方向移动，再推动该第一活塞板下降直至该第一活塞杆之该底端下降至一第二位置，以便使得该密封板移动至该开启位置。

其中，在该第一活塞杆上升及下降的过程中，该纵向驱动缸之第一缸体之顶端及底端系同时恒保持密合式套接该第一活塞杆。

其中，该第一流体及该第二流体系对应地循序供应至该第一闭合用进气室及该第一开启用进气室，藉以使得该密封板对应地闭合及开启该阀口。

其中，当该第一流体被供应至该第一闭合用进气室中时，该第二流体系停止被供应至该第一开启用进气室中，且当该第二流体被供应至该第一开启用进气室中时，该第一流体系停止被供应至该第一闭合用进气室中。

其中，该闭合用进气管件之一进气口系设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆之该底端上之一第三位置，该开启用进气管件之一进气口系设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆之该中央段上之一第四位置。

其中当该第一活塞杆之该底端上升至该第一位置时，该闭合用进气管件之该进气口系位于该第一闭合用进气室中，该开启用进气管件之该进气口系位于该第一开启用进气室中。