[发明专利]X射线模块

说明书

X射线模块具备：框体，其形成有开口部；电子枪，其射出电子束；靶，其使通过电子束的入射而产生的X射线透过而从X射线射出面射出；X射线射出窗，其对开口部进行密封，并且使X射线透过而向轴方向上的第一侧射出；以及散热部，其配置于框体外。框体具有形成有向第一侧突出的突出部的表面，开口部形成于突出部，靶配置于开口部内。散热部具有沿着表面延伸并与表面热连接的第一部分和从第一部分向与第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。

技术领域

本公开的一个方面涉及一种X射线模块。

背景技术

作为X射线模块，已知有从射出电子束的电子枪、以及通过电子束的入射而产生X射线的靶配置于框体内，从堵塞框体的开口部的输出窗输出X射线的模块(例如参照日本专利第5179797号公报)。

发明内容

发明所要解决的课题

在上述那样的X射线模块中，有时要求减小FOD(Focus to Object Distance)。例如，在非破坏检查中使用X射线模块的情况下，若从X射线焦点(靶上的电子束的照射点)到检查对象的距离即FOD小，则能够以高放大率进行观察。或者，若放大率相等，则能够将X射线摄像元件配置在X射线源的附近，因此能够取得明亮的图像。

另外，在上述那样的X射线模块中，靶中的电子束向X射线的转换效率为1％左右，入射的电子束的约99％为热。因此，为了抑制靶因热量而损伤而导致X射线输出降低，要求良好地对靶产生的热进行散热。

因此，本公开的一个方面的目的在于提供一种能够抑制FOD变大的同时，良好地对靶产生的热进行散热的X射线模块。

用于解决课题的手段

本公开的一个方面所涉及的X射线模块具备：框体，其形成有开口部；电子枪，其在框体内射出电子束；靶，其具有电子入射面以及与电子入射面相反的一侧的X射线射出面，使通过电子束向电子入射面的入射而产生的X射线透过而从X射线射出面射出；X射线射出窗，其对开口部进行密封，并且使从靶射出的X射线透过而向轴方向上的第一侧射出；以及散热部，其配置于框体外，框体具有形成有向第一侧突出的突出部的表面，开口部形成于突出部，靶配置于开口部内，散热部具有沿着表面延伸并与表面热连接的第一部分和从第一部分向与第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。

在该X射线模块中，靶具有电子入射面和X射线射出面，使通过电子束向电子入射面的入射而产生的X射线透过而从X射线射出面射出。在这样的透射型的结构中，与电子入射面兼作X射线射出面的反射型的结构相比，容易将靶配置在X射线射出窗口的附近，能够减小FOD。另外，在框体的表面形成有向第一侧突出的突出部，在形成于该突出部的开口部内配置有靶。因此，能够进一步减小FOD。而且，散热部具有沿着该表面延伸并与该表面热连接的第一部分。由此，能够利用突出部的高度量的空间配置散热部，能够抑制FOD变大，并且能够良好地散热在靶产生的热量。而且，散热部具有从第一部分向与第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。由此，能够抑制FOD变大，并且能够提高散热部的散热性。因此，根据该X射线模块，能够抑制FOD变大，并且能够良好地对靶产生的热进行散热。

第二部分也可以在从轴方向观察的情况下位于比表面的外缘靠外侧的位置，且在轴方向上位于比表面靠第二侧的位置。在该情况下，能够抑制FOD变大，并且能够提高散热部的散热性。

第一部分也可以在从轴方向观察的情况下包围突出部。在该情况下，能够使在靶产生的热更良好地散热。

散热部也可以相对于突出部不向第一侧突出。在该情况下，能够进一步减小FOD。

散热部的第一侧的表面也可以位于与突出部的第一侧的表面相同的平面上。在该情况下，能够抑制FOD变大，并且能够确保第一部分的厚度而提高散热部的散热性。