[发明专利]一种镀膜锗镜片返修回收方法有效

专利信息
申请号: 202210053286.4 申请日: 2022-01-18
公开(公告)号: CN114473671B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 崔丁方;钱海东;陈琳;杨康;李俊仪;王博文;孙思壮;胡光瑞;龙正祥;杨发平;陈晓玲;史桂平;姜俊;缪彦美 申请(专利权)人: 云南驰宏国际锗业有限公司
主分类号: B23P6/00 分类号: B23P6/00;B24B7/16;B24B41/06
代理公司: 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 代理人: 薛飞
地址: 655011 *** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 镜片 返修 回收 方法
【说明书】:

发明涉及一种镀膜锗镜片返修回收方法,属于锗镜片加工工艺技术领域。该方法包括:步骤一:镀膜锗镜片分类;步骤二:返修处理;步骤三:返修零件检测与清洗;步骤四:回收零件去膜处理;步骤五:回收零件检测与清洗。本发明利用丸片磨具、夹持套和低速下摆抛光机组成的磨削设备对返修零件AR膜面和DLC膜面进行磨削处理,返修和回收的效率高,不会对锗镜片造成破坏,同时解决柱面残留的DLC残面数控车不了的缺点。利用白钢玉喷砂对待回收的零件进行退镀处理,克服了退镀液退镀时膜层难以去除、回收率低和回炉风险大的缺点。本方法实施后能高质量、高效、便捷的返修镀膜锗镜片和高效、高回收率、零回炉风险的回收镀膜锗镜片。

技术领域

本发明属于锗镜片加工工艺技术领域,具体涉及一种镀膜锗镜片返修回收方法。

背景技术

锗金属属于稀贵金属,随着其应用的广泛,目前其金属单价已经超过银,经过精深加工后形成的镀膜锗镜片其单价将提高三倍以上,镀膜锗镜片使用时间过长受外界环境的影响,根据镀膜质量几年后需要更换镜片,同时在镀膜过程中由于诸多不可控因素的影响,镀膜后会出现成批镀膜不良的锗镜片,为此锗镜片的返修和回收在各行各业均显得尤为重要。

现目前对镀膜锗镜片的返修处理办法为,数控车削和退镀液退镀,在返修过程中只能用数控车削的方法来实现,数控车削效率低,当车削DLC镀膜面时候,由于DLC膜硬度和精钢石硬度相当,同时DLC膜与锗基片结合非常紧密,将导致在车削过程中非常伤刀,成本高同时破坏层很深,超出零件加工余量下限;在镀膜锗镜片回收过程中采用数控车削时候效率低、成本高,同时柱面残留的DLC残面数控车不了,为降低损耗只能用砂纸或砂轮进行打磨;利用退镀液退镀时候,退镀液腐蚀膜层的同时也会腐蚀锗材料,或将锗材料和膜层腐蚀溶接在一起,难以去除,回收率低,若在清洗过程中稍有不慎,流入单晶炉中将污染单晶炉锅体,对这锗单晶的拉制和晶像控制造成极大的影响。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种镀膜锗镜片回收返修方法,能够提高回收和返修的效率,而且,该方法不会对锗镜片本身造成损坏。

为实现上述目的,本发明是通过如下技术方案实现的:

一种镀膜锗镜片返修回收方法,该方法包括:

步骤一:镀膜锗镜片分类;

利用专用的光学量具和检测设备对不合格镀膜锗镜片进行检测,加工余量足够同时表面质量达标的归为需返修的镀膜锗镜片,其余归为需回收的镀膜锗镜片;

步骤二:返修处理;

将镀膜锗镜片零件固定在装有阻尼布的夹持套内,利用丸片磨具、夹持套和低速下摆抛光机组成磨削设备对AR膜面和DLC膜面进行磨削处理;

步骤三:返修零件检测与清洗;

将磨削完成的锗镜片利用专用量具和设备检测加工余量、表面平整度和表面质量,满足抛光或单点车削加工要求后,利用酒精清洗后返抛光工序或单点车削工序进行返修,不合格零件再进行磨削;

步骤四:回收零件去膜处理;

针对需回收的镀膜锗镜片,在一定气压压力下,利用白钢玉对AR膜面和DLC膜面进行加压喷砂处理,去除表面膜层;

步骤五:回收零件检测与清洗;

对于完成喷砂的零件,检测其表面是否还有未去除的残留膜层,若有再进行步骤四的喷砂处理,若合格则利用纯水和无尘布清洗干净后返单晶炉进行单晶拉制。

进一步,步骤二中,磨削设备包括丸片磨具、夹持套和低速下摆抛光机,丸片磨具由丸片均布粘接在丸片治具上形成,丸片磨具螺纹连接安装在低速下摆抛光机的下旋转轴上,装有阻尼布的夹持套固定在低速下摆抛光机的上摆轴上,待磨削锗镜片安装于夹持套内;

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