[发明专利]简单剖面结构保偏母材及其高效制备方法在审
申请号: | 202210053205.0 | 申请日: | 2022-01-18 |
公开(公告)号: | CN114349328A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李宝东;张飞;劳雪刚;陶泉;和联科;翟国华;凌明;胡家华 | 申请(专利权)人: | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司;江苏亨通光纤科技有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 王会 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 简单 剖面 结构 保偏母材 及其 高效 制备 方法 | ||
1.简单剖面结构保偏母材,其特征在于,由内至外依次包括VAD芯层、VAD外侧包层和OVD包层,所述VAD芯层中掺锗,其相对折射率n1为0.5%~0.9%,所述VAD外侧包层中掺氟,其相对折射率n2为-0.05%~-0.1%。
2.根据权利要求1所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
首先采用VAD工艺制备SiO2松散体,在沉积过程中,VAD芯层掺锗,VAD芯层外侧沉积VAD外侧包层,再通过烧结掺氟工艺,在VAD外侧包层掺氟,随后进行动态保温处理、延伸和酸洗后通过OVD工艺制备OVD包层,通过烧结工艺,得到无缺陷玻璃母棒,再经孔加工后组装应力棒,实现保偏母材的制备。
3.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述VAD芯层掺GeO2,其相对折射率n1为0.5%~0.9%。
4.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述掺氟工艺中的温度为1100±20℃,氟源为CF4。
5.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述动态保温处理具体包括:
将掺氟后的玻璃棒放置于动态保温装置内进行动态保温处理,保温温度为1100±30℃,保温时间不小于26h,玻璃棒竖向或横向往复移动速度为2~10mm/min,旋转速度1~3转/min,保温结束后冷却到800±25℃取出。
6.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述酸采用HF溶液,所述HF溶液的浓度为6±2%,酸洗时间为35±10min。
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