[发明专利]简单剖面结构保偏母材及其高效制备方法在审

专利信息
申请号: 202210053205.0 申请日: 2022-01-18
公开(公告)号: CN114349328A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 李宝东;张飞;劳雪刚;陶泉;和联科;翟国华;凌明;胡家华 申请(专利权)人: 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司;江苏亨通光纤科技有限公司
主分类号: C03B37/014 分类号: C03B37/014
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 王会
地址: 215200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 简单 剖面 结构 保偏母材 及其 高效 制备 方法
【权利要求书】:

1.简单剖面结构保偏母材,其特征在于,由内至外依次包括VAD芯层、VAD外侧包层和OVD包层,所述VAD芯层中掺锗,其相对折射率n1为0.5%~0.9%,所述VAD外侧包层中掺氟,其相对折射率n2为-0.05%~-0.1%。

2.根据权利要求1所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

首先采用VAD工艺制备SiO2松散体,在沉积过程中,VAD芯层掺锗,VAD芯层外侧沉积VAD外侧包层,再通过烧结掺氟工艺,在VAD外侧包层掺氟,随后进行动态保温处理、延伸和酸洗后通过OVD工艺制备OVD包层,通过烧结工艺,得到无缺陷玻璃母棒,再经孔加工后组装应力棒,实现保偏母材的制备。

3.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述VAD芯层掺GeO2,其相对折射率n1为0.5%~0.9%。

4.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述掺氟工艺中的温度为1100±20℃,氟源为CF4

5.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述动态保温处理具体包括:

将掺氟后的玻璃棒放置于动态保温装置内进行动态保温处理,保温温度为1100±30℃,保温时间不小于26h,玻璃棒竖向或横向往复移动速度为2~10mm/min,旋转速度1~3转/min,保温结束后冷却到800±25℃取出。

6.根据权利要求2所述的简单剖面结构保偏母材的高效制备方法,其特征在于,所述酸采用HF溶液,所述HF溶液的浓度为6±2%,酸洗时间为35±10min。

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