[发明专利]电子设备的制造方法及玻璃板组在审
申请号: | 202180071237.7 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN116529217A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 泽里扩志 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03C3/091 | 分类号: | C03C3/091 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子设备 制造 方法 玻璃板 | ||
电子设备的制造方法具备以下工序:准备工序(S1),准备包含多个玻璃板(Gs)的玻璃板组(Gg);设备形成工序(S2),将电子设备(D)形成于玻璃板(Gs);以及剥离工序(S3),将玻璃板(Gs)从电子设备(D)的树脂层(6)剥离。多个玻璃板(Gs)中的波长308~355nm的透射率的标准偏差为3.0以下。
技术领域
本发明涉及制造有机EL显示器等电子设备的方法及在该制造方法中使用的玻璃板组。
背景技术
用于挠性显示器等的有机EL设备通过将聚酰亚胺等树脂层作为基板,并在其上形成TFT层、有机EL层等而制造。树脂层通过在玻璃板(也称为载体玻璃)上涂布清漆状组合物,并以树脂成分的热分解温度以下实施一定时间的热处理而形成(例如参照专利文献1)。
如果有机EL设备形成于树脂层上,则实施将有机EL设备(树脂层)与玻璃板剥离的剥离工序。在该剥离工序中,从与形成有有机EL设备的玻璃板的一侧的面的相反侧照射激光,对玻璃板与树脂层的界面进行加热。所使用的激光中,有XeCl准分子激光(波长308nm)、Nd-YAG固体激光(波长355nm)、Yb-YAG固体激光(波长343nm)等。
经过如上所述的工序制造的有机EL设备为挠性,具有良好的设备特性。因此,尤其是用于显示器、触摸面板、太阳能电池等挠性的电子设备的制造。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2014/073591号
发明内容
发明所要解决的问题
在电子设备的制造工序中,预先准备包含多个玻璃板的玻璃板组,对各玻璃板依次形成有机EL设备。有时在现有的制造工序中存在以下情况:包含在剥离工序中树脂层从玻璃板的剥离变得不充分的有机EL设备。具体而言,有时有机EL设备中的树脂层的一部分不从玻璃板剥离而残存于玻璃板上。
作为解决该问题的方法,有提高激光的照射强度的方法。然而,存在以下担忧:在该方法中,对树脂层施加过量的热应力,将树脂层从玻璃板剥离后,树脂层(树脂基板)与TFT层之间的残留应力成为原因,而在树脂基板产生褶皱(局部的膜的剥离)。
如果在树脂基板产生褶皱,则成为有机EL设备的工作不良的原因。因此,有机EL设备的制造存在成品率变低、生产成本增大的担忧。
本发明的技术课题在于,使得将玻璃板从电子设备剥离时,在电子设备的树脂层不易产生褶皱。
用于解决问题的手段
本发明人进行了各种研究,结果发现,通过在对玻璃板与电子设备的树脂层的界面照射UV激光的工序中,对于玻璃板组的各玻璃板,使波长308~355nm的透射率的偏差为某个固定的值以下,从而变得容易使玻璃板与树脂层的界面处的加热状态均匀,能够解决上述问题,并作为本发明而提出。
即,本发明涉及一种电子设备的制造方法,其特征在于,具备以下工序:准备工序,准备包含多个玻璃板的玻璃板组;设备形成工序,将包含树脂层的电子设备形成于上述玻璃板;以及剥离工序,通过对上述电子设备的上述树脂层与上述玻璃板的界面进行加热,从而使上述玻璃板从上述电子设备的上述树脂层剥离,上述多个上述玻璃板具有第一主面、和位于与上述第一主面相反侧的第二主面,其中,在上述第一主面形成上述树脂层,上述多个玻璃板中的波长308nm~355nm的透射率的标准偏差为3.0以下。
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