[发明专利]X射线产生装置

说明书

本发明的X射线产生装置(1)具备：电子枪(2)，其出射电子束(EB)；目标部(K)，其以因电子束(EB)的入射而产生X射线(L)的多个长条的目标(22)为相互平行的方式配置；框体(4)，其容纳电子枪(2)及目标部(K)；及X射线出射窗(5)，其设置于框体(4)，使在目标部(K)产生的X射线(L)出射至框体(4)的外部，目标部(K)中，目标(22)配置成以相对于电子束(EB)的出射轴的规定的倾斜角度(θ1)而与电子枪(2)相对，X射线出射窗(5)以在可透过沿与目标部(K)垂直的方向产生的X射线(L)的位置，相对于目标部(K)以规定的倾斜角度(θ2)相对的方式配置。

技术领域

本公开涉及一种X射线产生装置。

背景技术

作为现有的X射线产生装置，例如有专利文献1记载的X射线干涉成像系统。该现有的X射线产生装置具有通过在金刚石基板埋入钨等多种金属而构成的目标部。自电子枪出射的电子束以一定的倾斜角度相对于目标部入射。X射线出射窗相对于目标部平行地配置，在目标部产生的X射线在X射线出射窗中自该目标部沿垂直方向出射。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特表2017-514583号公报

发明内容

发明想要解决的问题

将X射线产生装置与显像管等的摄像装置组合的情况下，为充分确保显像管等的对象物的摄影图像的对比度，优选在X射线出射窗中使X射线自目标部沿垂直方向出射。另外，在显像管等获得的对象物的X射线图像的放大率通过X射线焦点与摄像位置之间的距离(FID：Focus to Image Distance)相对于X射线焦点(X射线产生位置)与对象物之间的距离(FOD：Focus to Object Distance)的比而确定。因此，在X射线产生装置中，优选具备更小的FOD。

上述的专利文献1的结构中，为了在X射线出射窗使X射线自目标部沿垂直方向出射，且获得更小的FOD，必须缩小配置有电子枪的X射线出射窗与目标部之间的空间。该情况下，电子枪与目标部之间的配置关系变化，使电子束以更接近平行的角度相对于目标部入射。然而，考虑到若电子束相对于目标部的入射角度接近平行，则电子束容易在目标部的表面反射而未入射至目标部的内部。该情况下，电子束有助于X射线产生的比例、即入射至目标部的电子束向X射线的转换效率降低，会产生X射线的产生效率降低的问题。

本公开是为解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种可获得所期望的对比度及FOD，且可获得充分的X射线的产生效率的X射线产生装置。

解决问题的技术手段

本公开的一方式的X射线产生装置，具备：电子枪部，其出射电子束；目标部，其以因电子束的入射而产生X射线的多个长条的目标为相互平行的方式配置；框体部，其容纳电子枪部及目标部；及X射线出射窗部，其设置于框体部，使在目标部产生的X射线出射至框体部的外部，目标部中，目标配置成以相对于电子束的出射轴的规定的倾斜角度而与电子枪部相对，X射线出射窗部以在可透过沿与目标部垂直的方向产生的X射线的位置，相对于目标部以规定的倾斜角度相对的方式配置。

在该X射线产生装置中，在可透过沿与目标部垂直的方向产生的X射线的位置设置有X射线出射窗部，在该位置，以相对于目标部以规定的倾斜角度相对的方式配置有X射线出射窗部。根据这样的X射线出射窗部的配置，在该X射线产生装置中，无须使电子束相对于目标的入射角度接近平行，即可自X射线出射窗部取出沿与目标部垂直的方向产生的X射线。因此，可获得所期望的对比度及FOD，且可获得充分的X射线的产生效率。

也可为，X射线产生装置具备：目标部支撑部，其以使目标以相对于电子束的出射轴的规定的倾斜角度而与电子枪部相对的方式支撑目标部，目标部的至少一部分以埋设于目标部支撑部的状态被支撑。该情况下，可将通过电子束的入射而在目标部产生的热高效地传递至目标部支撑部。因此，可抑制目标的消耗。