[发明专利]显微镜系统、成像方法和成像设备

权利要求书

1.一种显微镜系统，包括：

照射单元，发射与第一方向平行的线状照射；

载物台，支撑样本并且能够在垂直于所述第一方向的第二方向上移动；

相位差获取单元，获取关于通过利用所述线状照射照射而从所述样本发射的光的图像的相位差信息；

物镜，将所述线状照射聚焦在所述样本上；

推导单元，基于所述相位差信息推导所述物镜与所述样本之间的相对位置信息；以及

移动控制单元，基于所述相对位置信息使所述物镜和所述载物台中的至少一个在与所述第一方向和所述第二方向中的每一个垂直的第三方向上移动。

2.根据权利要求1所述的显微镜系统，

其中，多个所述线状照射是平行于所述第一方向并且以彼此不同的波长非同轴布置的多个所述线状照射。

3.根据权利要求1所述的显微镜系统，

其中，所述相位差获取单元包括多个透镜并获取从所述样本发射的光的光瞳分割图像作为所述相位差信息。

4.根据权利要求1所述的显微镜系统，

其中，所述相位差获取单元基于从所述样本发射的光的光瞳分割图像的光强度分布来获取所述相位差信息。

5.根据权利要求4所述的显微镜系统，

其中，所述相位差获取单元计算所述光强度分布的质心位置，并且通过比较所述质心位置来获取所述相位差信息。

6.根据权利要求3所述的显微镜系统，

所述推导单元包括：

第一计算单元，计算所述光瞳分割图像的间隔；和

第二计算单元，根据所述间隔与基准间隔之间的差来计算相对移动量和相对移动方向作为所述相对位置信息。

7.根据权利要求3所述的显微镜系统，

其中，所述推导单元基于所述光瞳分割图像之间的所述图像的延伸方向上的位置之间的间隔推导所述样本的每个位置的所述相对位置信息。

8.根据权利要求1所述的显微镜系统，

其中，所述移动控制单元针对平行于所述第一方向且以彼此不同的波长非同轴布置的多个线状照射中的每一个执行聚焦。

9.根据权利要求3所述的显微镜系统，

其中，所述相位差获取单元从图像捕获单元获取所述光瞳分割图像，所述图像捕获单元包括接收光的多个光接收单元并且具有沿着光接收表面布置所包括的所述光接收单元的曝光设定值彼此不同的多种类型的单元区域的配置；并且

推导单元，

包括选择单元，所述选择单元从多种类型的单元区域中选择包括具有特定曝光设定值的光接收单元的单元区域；并且

基于由包括在所选择的单元区域中的光接收单元接收的光瞳分割图像的光强度分布测量相位差，并且推导所述相对位置信息。

10.根据权利要求9所述的显微镜系统，

其中，所述曝光设定值包括所述光接收单元的增益和曝光时间中的至少一个。

11.一种由用于控制测量单元的计算机执行的成像方法，所述测量单元包括照射单元、载物台和物镜，所述照射单元发射平行于第一方向的线状照射，所述载物台支撑样本并且能够在垂直于所述第一方向的第二方向上移动，所述物镜将所述线状照射聚焦在所述样本上，所述成像方法包括：

获取关于通过利用所述线状照射照射而从所述样本发射的光的图像的相位差信息的步骤；

基于所述相位差信息推导所述物镜与所述样本之间的相对位置信息的步骤；以及

基于所述相对位置信息使所述物镜和所述载物台中的至少一个在与所述第一方向和所述第二方向中的每一个垂直的第三方向上移动的步骤。