[实用新型]抛光槽及抛光设备

权利要求书

1.一种抛光槽，其特征在于，包括：

槽体，具有用于盛放抛光液的第一腔体；

可移动横梁，所述可移动横梁与所述槽体可滑动连接，所述可移动横梁沿所述槽体的两个相对的槽壁移动；

阴极框架，所述阴极框架与所述可移动横梁可拆卸连接，所述阴极框架用于放置阴极板，且所述阴极框架具有暴露出阴极板的至少部分的窗口，使得所述阴极板与所述槽体中抛光液接触。

2.如权利要求1所述的抛光槽，其特征在于，所述槽体包括外壳和具有所述第一腔体的内胆，所述外壳和所述内胆固定连接且所述外壳和内胆之间形成第二腔体，所述外壳上开设有连通所述第二腔体的进水口和出水口。

3.如权利要求2所述的抛光槽，其特征在于，所述外壳的内表面、所述外壳的外表面、所述内胆的外表面和所述内胆的内表面中的至少一个表面上覆盖有防腐涂层。

4.如权利要求1-3中任一项所述的抛光槽，其特征在于，所述可移动横梁包括第一可移动横梁和第二可移动横梁，所述第一可移动横梁和所述第二可移动横梁垂直设置。

5.如权利要求4所述的抛光槽，其特征在于，所述第一可移动横梁和/或所述第二可移动横梁所对应的槽壁的外表面设有刻度标尺。

6.如权利要求1-3中任一项所述的抛光槽，其特征在于，还包括调节部件，所述调节部件与所述阴极框架可拆卸连接，且所述调节部件用于调节所述窗口的大小。

7.如权利要求6所述的抛光槽，其特征在于，所述阴极框架具有凹槽，所述凹槽的侧壁开设有所述窗口，所述调节部件插设于所述凹槽内。

8.如权利要求6所述的抛光槽，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置与所述可移动横梁和/或所述调节部件电连接，所述控制装置用于控制所述可移动横梁和/或所述调节部件移动。

9.如权利要求1所述的抛光槽，其特征在于，还包括连接件，所述连接件的一端与所述阴极框架固定连接，所述连接件的另一端与所述可移动横梁可拆卸连接。

10.如权利要求1-3中任一项所述的抛光槽，其特征在于，所述槽体的底壁上设有通孔，抛光液通过第一管道从所述通孔流入或流出；

所述槽体包括外壳和具有所述第一腔体的内胆，第一管道贯通所述外壳和所述内胆，所述第一管道的一端位于所述第一腔体内。

11.如权利要求10所述的抛光槽，其特征在于，还包括分水器，所述分水器设于所述第一管道上。

12.如权利要求1所述的抛光槽，其特征在于，沿着所述第一腔体的中心轴线自下往上的方向，所述第一腔体的横截面的面积逐渐增大。

13.一种抛光设备，其特征在于，包括原液槽、废液槽、阴极板、阳极板以及如权利要求1-12中任一项所述抛光槽；所述抛光槽与所述原液槽通过第二管道连接，所述抛光槽与所述废液槽通过第三管道连接；所述阴极板和所述阳极板均置于所述抛光槽中。

14.如权利要求13所述的抛光设备，其特征在于，还包括第四管道，第四管道与第三管道连接，第四管道的另一端连接所述抛光槽，通过阀控制抛光液进入废液槽或者抛光槽。