[实用新型]往复式药液循环结构

说明书

本实用新型涉及一种往复式药液循环结构，包括药液槽，所述药液槽中沿长度方向的两块壁板顶部设置有导轨，所述导轨包括整体呈水平设置的轨道，所述轨道上间隔地设置有若干个形凸起，药液槽中沿宽度方向设置有匀流板，所述匀流板的顶部设置有定位杆，所述定位杆的两端通过滑轮与所述轨道滑动配合，驱动机构与所述定位杆处的滑轮传动连接，用于带动所述匀流板沿所述药液槽的长度方向运动，药液槽底部设置有多条进液管，所述进液管通过进液泵与外部的加药罐相连，所述进液管上开设有多个朝上设置的喷头。本申请能够保证药液槽内药液浓度均匀，提高产品质量。

技术领域

本实用新型涉及一种往复式药液循环结构。

背景技术

在对金属或者晶圆等进行药液处理时（镀镍、镀铜等）需要保持其中的药液浓度维持在合适的范围内，同时要保证药液槽内各个部分的浓度基本一致，以保证反应彻底以及各部分反应一致性，现有设备中多是搅拌棒配合外部加药来进行浓度调整，但是搅拌式采用局部搅拌仍然无法保证靠近侧壁及两端的浓度稳定，影响药液的正常反应，最终导致产品的良品率下降。

发明内容

本实用新型的目的是要提供一种往复式药液循环结构，其能够保证药液槽内药液浓度均匀，提高产品质量。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种往复式药液循环结构，包括药液槽，所述药液槽中沿长度方向的两块壁板顶部设置有导轨，所述导轨包括整体呈水平设置的轨道，所述轨道上间隔地设置有若干个形凸起，药液槽中沿宽度方向设置有匀流板，所述匀流板的顶部设置有定位杆，所述定位杆的两端通过滑轮与所述轨道滑动配合，驱动机构与所述定位杆处的滑轮传动连接，用于带动所述匀流板沿所述药液槽的长度方向运动，药液槽底部设置有多条进液管，所述进液管通过进液泵与外部的加药罐相连，所述进液管上开设有多个朝上设置的喷头。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

可选地，所述驱动机构包括电机、传动链、固定块、连接杆，所述传动链沿着所述药液槽的外壁设置，并且传动链沿着药液槽的长度方向设置，所述电机与所述传动链相连，所述固定块固定在所述传动链上，所述固定块通过连接杆与所述滑轮相连。

进一步地，所述连接杆的一端与滑轮的侧面转动连接，所述连接杆的另一端与所述固定块转动连接。

更进一步地，包括两组传动链、两个固定块以及两根连接杆，两组传动链分别设置于药液槽的外部两侧，在每组传动链分别固定一所述固定块，所述固定块分别通过一所述连接杆与对应侧的滑轮转动连接。

可选地，所述匀流板上开设有若干排匀流孔，且由边缘向中部为由稀疏到稠密的排布。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的往复式药液循环结构，其采用平板式的均流板沿药液槽长度方向往复行进从而混合药液，使得药液槽内各部分的浓度一致，在产品进行反应时就能够保证产品各个部分的反应一致性，进而提高产品质量，保证产品良品率。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例中的往复式药液循环结构的结构示意图；

图2为图1所示往复式药液循环结构中的局部结构放大图。

其中，附图标记说明如下：

1、药液槽；

2、导轨，21、凸起；

3、匀流板，31、定位杆，32、滑轮，33、匀流孔；