[实用新型]一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台

权利要求书

1.一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，包括外罩(1)，其特征在于：所述外罩(1)的顶部安装有导晶棒管(2)，所述外罩(1)的内侧安装有坩埚(9)，所述外罩(1)内侧的底部固定有多个液压缸(3)，所述液压缸(3)的顶部固定有支撑板(4)，所述支撑板(4)的顶部安装有用于驱动坩埚(9)转动的转动机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述转动机构包括电机(5)、主动齿轮(6)、从动齿轮(7)、转动杆(8)和限位块(10)；

所述电机(5)固定于支撑板(4)的顶部，所述电机(5)的输出端竖直向上固定有主动齿轮(6)，所述主动齿轮(6)的一侧啮合连接有从动齿轮(7)，所述从动齿轮(7)的内部焊接有转动杆(8)，且所述转动杆(8)与支撑板(4)转动连接，所述转动杆(8)顶部的外侧焊接有限位块(10)，所述限位块(10)用于所述转动杆(8)转动时可带动所述坩埚(9)转动，且所述转动杆(8)和限位块(10)均与坩埚(9)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述坩埚(9)的底部转动连接有两个支撑块(11)，所述支撑块(11)的底部且位于支撑板(4)的顶部安装有重量传感器(12)，所述支撑板(4)的底部还安装有控制器(13)。

4.根据权利要求2所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述转动杆(8)与支撑板(4)通过轴承转动连接。

5.根据权利要求2所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述主动齿轮(6)的直径小于从动齿轮(7)的直径。

6.根据权利要求3所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述重量传感器(12)与控制器(13)以及控制器(13)与液压缸(3)均电性连接。